公开(公告)号：CN101608308A

公开(公告)日：2009-12-23

申请号：CN200910017216.8

申请日：2009-07-11

Applicant: 威海双丰物探设备股份有限公司

Inventor： 唐晓刚 ,  杨仲华 ,  刘静 ,  张桂仙

IPC: C23F1/40

Abstract: 一种半导体硅片腐蚀液，涉及微机械加工，按重量百分比，氢氧化钾20－30％，异丙醇10－15％，其余为水，搅拌均匀制成品，异丙醇对(100)硅片的晶向线方向和垂直于晶向线方向的腐蚀速度起到干扰作用，而对非晶向线方向和非垂直于晶向线方向的腐蚀速度影响小，腐蚀如正六边形微机械结构、正八边形微机械结构时，在晶向线方向、垂直于晶向线方向和非垂直于晶向线方向的腐蚀速度相同，腐蚀如正六边形微机械结构、正八边形微机械结构不变形，适用于腐蚀加工晶向线方向、垂直于晶向线方向和非垂直于晶向线方向，如正六边形、正八边形等半导体(100)硅片的微机械结构。

公开(公告)号：CN101604027A

公开(公告)日：2009-12-16

申请号：CN200910017217.2

申请日：2009-07-11

Applicant: 威海双丰物探设备股份有限公司

Inventor： 唐晓刚 ,  杨仲华 ,  刘静

IPC: G01V1/18

Abstract: 一种加速度检波器中间可动电极，涉及加速度检波器，设有正六边形质量块，质量块上设有排气孔，边框上设有排气槽，质量块表面设有金属极板，质量块上均布单层三臂支撑梁，支撑梁与边框内侧相连接，与边框、质量块、支撑梁相对应平行设有下边框、下质量块、下支撑梁，边框与下边框贴合成整体，为整体边框，质量块与下质量块贴合成整体，为整体质量块，形成双层支撑梁，整体质量块质量大，双层支撑梁支撑稳定，灵敏度高，动态范围大，振动稳定，波形失真小，适用于加速度检波器。

公开(公告)号：CN201444204U

公开(公告)日：2010-04-28

申请号：CN200920029294.5

申请日：2009-07-11

Applicant: 威海双丰物探设备股份有限公司

Inventor： 唐晓刚 ,  杨仲华 ,  刘静

IPC: G01V1/18

Abstract: 一种加速度检波器中间可动电极，涉及加速度检波器，设有正六边形质量块，质量块上设有排气孔，边框上设有排气槽，质量块表面设有金属极板，质量块上均布单层三臂支撑梁，支撑梁与边框内侧相连接，与边框、质量块、支撑梁相对应平行设有下边框、下质量块、下支撑梁，边框与下边框贴合成整体，为整体边框，质量块与下质量块贴合成整体，为整体质量块，形成双层支撑梁，整体质量块质量大，双层支撑梁支撑稳定，灵敏度高，动态范围大，振动稳定，波形失真小，适用于加速度检波器。