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公开(公告)号：CN1948955A
公开(公告)日：2007-04-18
申请号：CN200610132214.X
申请日：2006-10-12
Applicant: 奥林巴斯株式会社
Abstract: 本发明提供一种基板检查装置(1)，在基座主体(3)上铺设有使基板(W)气动浮起的浮起工作台(4)。另外，在从基座主体(3)的一端部到另一端部之间依次设有自动宏观检查部(21)和微观检查部(22)。自动宏观检查部(21)构成为具有向基板(W)照射线状照明光的照明部(24)，在使照明光的反射光通过反射部(25)折返后入射到摄像部(26)。
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公开(公告)号：CN100374898C
公开(公告)日：2008-03-12
申请号：CN200410004095.0
申请日：2004-02-09
Applicant: 奥林巴斯株式会社
Abstract: 本发明涉及一种在例如大型液晶显示器(LCD)的玻璃基板等被检查物的检查中所适用的检查装置。在该检查装置中，通过成像透镜成像利用物镜光学系统形成的像，并在具有相对于被检查物的检查面大致平行地进行传送的转像光学系统的水平延长镜筒内，传送该成像的像，通过垂直延长镜筒内的转像光学系统，向下方传送利用该水平延长镜筒内的转像光学系统传送的像，利用观察光学系统可观察在该垂直延长镜筒内传送的像。
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公开(公告)号：CN1521529A
公开(公告)日：2004-08-18
申请号：CN200410004095.0
申请日：2004-02-09
Applicant: 奥林巴斯株式会社
Abstract: 本发明涉及一种在例如大型液晶显示器(LCD)的玻璃基板等被检查物的检查中所适用的检查装置。在该检查装置中，通过成像透镜成像利用物镜光学系统形成的像，并在具有相对于被检查物的检查面大致平行地进行传送的转像光学系统的水平延长镜筒内，传送该成像的像，通过垂直延长镜筒内的转像光学系统，向下方传送利用该水平延长镜筒内的转像光学系统传送的像，利用观察光学系统可观察在该垂直延长镜筒内传送的像。
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