公开(公告)号：CN1868941B

公开(公告)日：2010-07-14

申请号：CN200510072057.3

申请日：2005-05-25

Applicant: 奥林巴斯株式会社

Inventor： 五十川征史 ,  土野雅道 ,  东条弘美

IPC: C03B11/00 ,  C03B11/06

Abstract: 本发明提供一种光学元件成形模具，通过注入离子提高了在注入离子后所形成的膜与成形面的附着强度，并且通过采用与之不相同的方法而使其具有平滑的成膜面和高附着强度。该光学元件成形模具的制造方法包括第一工序(S01)和第二工序(S02)，在第一工序(S01)中，在设置在真空容器(4)内的母材(2)的周围产生含有作为贵重金属离子的Pt离子，通过对母材(2)施加脉冲电压，从母材(2)周围的等离子中只吸引出离子，将该离子注入母材(2)的成形面(2A)；在第二工序(S02)中，在第一工序(S01)后的成形面(2A)上，用溅射法形成由Pt构成的膜。

公开(公告)号：CN1868941A

公开(公告)日：2006-11-29

申请号：CN200510072057.3

申请日：2005-05-25

Applicant: 奥林巴斯株式会社

Inventor： 五十川征史 ,  土野雅道 ,  东条弘美

IPC: C03B11/00 ,  C03B11/06

Abstract: 本发明提供一种光学元件成形模具，通过注入离子提高了在注入离子后所形成的膜与成形面的附着强度，并且通过采用与之不相同的方法而使其具有平滑的成膜面和高附着强度。该光学元件成形模具的制造方法包括第一工序(SO1)和第二工序(SO2)，在第一工序(SO1)中，在设置在真空容器(4)内的母材(2)的周围产生含有作为贵重金属离子的Pt离子，通过对母材(2)施加脉冲电压，从母材(2)周围的等离子中吸引出离子，将该离子注入母材(2)的成形面(2A)；在第二工序(SO2)中，在第一工序(SO1)后的成形面(2A)上，用溅射法形成由Pt构成的膜。