声波器件
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107204750A

    公开(公告)日:2017-09-26

    申请号:CN201710141175.8

    申请日:2017-03-10

    Inventor: 川内治 及川怜

    Abstract: 一种声波器件,所述声波器件包括:压电基板,所述压电基板由单晶压电材料制成,并且包括第一区域和第二区域,所述第一区域包括上表面,所述第二区域位于所述第一区域下方并且具有小于所述第一区域的密度的密度;以及IDT,所述IDT位于所述压电基板的所述上表面上。

    声波器件
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN107204750B

    公开(公告)日:2020-12-18

    申请号:CN201710141175.8

    申请日:2017-03-10

    Inventor: 川内治 及川怜

    Abstract: 一种声波器件,所述声波器件包括:压电基板,所述压电基板由单晶压电材料制成,并且包括第一区域和第二区域,所述第一区域包括上表面,所述第二区域位于所述第一区域下方并且具有小于所述第一区域的密度的密度;以及IDT,所述IDT位于所述压电基板的所述上表面上。

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