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公开(公告)号：CN105938297B
公开(公告)日：2021-02-19
申请号：CN201610125676.2
申请日：2016-03-04
Applicant: 太阳油墨制造株式会社
Abstract: 本发明提供抗蚀剂组合物和干膜。提供能够形成与ITO膜的密合性和耐强酸性优异的抗蚀膜的抗蚀剂组合物和具有由该组合物得到的树脂层的干膜。一种抗蚀剂组合物，其特征在于，其包含具有氨基甲酸酯结构和双酚结构中的至少任一结构的碱溶性树脂；以及，一种干膜，其具有由该组合物得到的树脂层。
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公开(公告)号：CN105938296B
公开(公告)日：2021-02-19
申请号：CN201610125297.3
申请日：2016-03-04
Applicant: 太阳油墨制造株式会社
Abstract: 本发明提供抗蚀剂组合物和干膜。提供能够形成耐氢氟酸性优异的抗蚀膜的抗蚀剂组合物和具有由该组合物得到的树脂层的干膜。一种抗蚀剂组合物，其特征在于，其包含具有联苯结构的碱溶性树脂；以及，一种干膜，其具有由该组合物得到的树脂层。
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公开(公告)号：CN105938297A
公开(公告)日：2016-09-14
申请号：CN201610125676.2
申请日：2016-03-04
Applicant: 太阳油墨制造株式会社
Abstract: 本发明提供抗蚀剂组合物和干膜。提供能够形成与ITO膜的密合性和耐强酸性优异的抗蚀膜的抗蚀剂组合物和具有由该组合物得到的树脂层的干膜。一种抗蚀剂组合物，其特征在于，其包含具有氨基甲酸酯结构和双酚结构中的至少任一结构的碱溶性树脂；以及，一种干膜，其具有由该组合物得到的树脂层。
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