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公开(公告)号：CN118511131A
公开(公告)日：2024-08-16
申请号：CN202280088034.3
申请日：2022-12-22
Applicant: 太阳控股株式会社
Abstract: 提供灵敏度和分辨率稳定、层压工序后能得到良好的树脂层的状态的树脂固化物的制造方法。本发明为使用具备树脂层和第1薄膜的层叠结构体在基板上制造树脂固化物的方法，基板上的树脂固化物的制造方法包括如下步骤：将层叠结构体中的树脂层和第1薄膜以该树脂层成为基板侧的状态层压在基板上时，在特定条件下实施第1层压工序和第2层压工序，放置规定时间后，进行曝光、显影。
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