一种氮化镓基LED外延结构及其制备方法

    公开(公告)号:CN103500780B

    公开(公告)日:2016-03-30

    申请号:CN201310453881.8

    申请日:2013-09-29

    Abstract: 本发明涉及GaN基LED外延结构,具体是一种氮化镓基LED外延结构及其制备方法。本发明解决了现有GaN基LED外延结构发光效率较低、光电性能较差、以及良率较低的问题。一种氮化镓基LED外延结构包括蓝宝石衬底、低温GaN缓冲层、未掺杂GaN层、n型掺杂GaN层、超晶格层、多量子阱发光层、p型AlGaN层、p型GaN接触层;其中,低温GaN缓冲层生长于蓝宝石衬底的上表面;未掺杂GaN层生长于低温GaN缓冲层的上表面;n型掺杂GaN层生长于未掺杂GaN层的上表面;超晶格层生长于n型掺杂GaN层的上表面;多量子阱发光层生长于超晶格层的上表面。本发明适用于制造半导体发光器件。

    InGaN量子点发光二极管及其制备方法

    公开(公告)号:CN109802021A

    公开(公告)日:2019-05-24

    申请号:CN201910235749.7

    申请日:2019-03-27

    Abstract: 本发明提供一种InGaN量子点发光二极管及其制备方法,属于半导体技术领域。包括蓝宝石衬底;设于蓝宝石衬底上面的GaN形核层;设于GaN形核层上面的未掺杂的GaN层;设于未掺杂的GaN层上面的n型GaN层;设于n型GaN层上面的第一GaN势垒层;设于第一GaN势垒层上面的量子阱区,量子阱区包括5~15周期的量子阱层,每个量子阱层从下至上依次包括InGaN量子点层、非线性变速生长的量子点盖层和第二GaN势垒层;设于量子阱区上面的p型AlGaN电子阻挡层;设于p型AlGaN电子阻挡层上面的p型GaN层;设于p型GaN层上面的p++型GaN电极接触层。本发明能有效抑制量子点处In组分的偏析,减少界面位错的攀移,从而减少阱垒界面的位错密度,使量子点分布趋于均匀,实现高密度高性能InGaN量子点的制备。

    InGaN量子点发光二极管
    6.
    实用新型

    公开(公告)号:CN209389055U

    公开(公告)日:2019-09-13

    申请号:CN201920401393.5

    申请日:2019-03-27

    Abstract: 本实用新型提供一种InGaN量子点发光二极管,属于半导体技术领域。包括蓝宝石衬底;设于蓝宝石衬底上面的GaN形核层;设于GaN形核层上面的未掺杂的GaN层;设于未掺杂的GaN层上面的n型GaN层;设于n型GaN层上面的第一GaN势垒层;设于第一GaN势垒层上面的量子阱区,量子阱区包括5~15周期的量子阱层,每个量子阱层从下至上依次包括InGaN量子点层、非线性变速生长的量子点盖层和第二GaN势垒层;设于量子阱区上面的p型AlGaN电子阻挡层;设于p型AlGaN电子阻挡层上面的p型GaN层;设于p型GaN层上面的p++型GaN电极接触层。本实用新型能有效抑制量子点处In组分的偏析,减少界面位错的攀移,从而减少阱垒界面的位错密度,使量子点分布趋于均匀,实现高密度高性能InGaN量子点的制备。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

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