公开(公告)号：CN115014768B

公开(公告)日：2025-04-04

申请号：CN202110238611.X

申请日：2021-03-04

Applicant: 大银微系统股份有限公司

Inventor： 陈凯迪 ,  易春億 ,  庄维德 ,  陈彦佑

IPC: G01M15/02

Abstract: 本发明提供的动态的位移误差补偿系统：使基于对于一第一轴与第二轴的校正检测所获得的检测误差资讯，以第一轴与第二轴的位置资讯为变数，分别被制成对在该第一轴的位移进行补偿的第一补偿表，以及对在该第二轴的位移进行补偿的第二补偿表，并将该第一补偿表储存于第一驱动器中，以及将该第二补偿表储存于第二驱动器中，并使该第一驱动器与该第二驱动器同时或先后地取得该第一移动元件在该第一轴上的第一动态位置资讯以及该第二移动元件在该第二轴上的第二动态位置资讯后，再依据该第一补偿表及该第二补偿表，对该第一移动元件与该第二移动元件分别进行位移的补偿。

公开(公告)号：CN115014768A

公开(公告)日：2022-09-06

申请号：CN202110238611.X

申请日：2021-03-04

Applicant: 大银微系统股份有限公司

Inventor： 陈凯迪 ,  易春億 ,  庄维德 ,  陈彦佑

IPC: G01M15/02

Abstract: 本发明提供的动态的位移误差补偿系统：使基于对于一第一轴与第二轴的校正检测所获得的检测误差资讯，以第一轴与第二轴的位置资讯为变数，分别被制成对在该第一轴的位移进行补偿的第一补偿表，以及对在该第二轴的位移进行补偿的第二补偿表，并将该第一补偿表储存于第一驱动器中，以及将该第二补偿表储存于第二驱动器中，并使该第一驱动器与该第二驱动器同时或先后地取得该第一移动元件在该第一轴上的第一动态位置资讯以及该第二移动元件在该第二轴上的第二动态位置资讯后，再依据该第一补偿表及该第二补偿表，对该第一移动元件与该第二移动元件分别进行位移的补偿。