公开(公告)号：CN1682388A

公开(公告)日：2005-10-12

申请号：CN03822304.X

申请日：2003-09-18

Applicant: 大金工业株式会社

Inventor： 森田正道 ,  大塚英幸 ,  高原淳 ,  山本育男 ,  伊丹康雄 ,  青山博一

IPC: H01L51/00

CPC classification number: B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/0002 ,  H01L51/0012 ,  Y10T428/24917 ,  Y10T428/24926

Abstract: 通过本发明可以得到在交替线形图案表面上具有功能性化合物层的各向异性材料，交替线形图案表面中，一方的线含有含氟化合物，另一方的线含有非含氟化合物。使用具有特定结构的含氟化合物作为表面处理剂制造图案表面，以此图案表面用作模板，通过涂布功能性化合物溶液的工序，可以制造纳米～微米级的功能性化合物的结构体。以至少一个区域经含氟化合物表面处理的图案表面作为模板，能提高功能性化合物的特性。

公开(公告)号：CN100477319C

公开(公告)日：2009-04-08

申请号：CN03822304.X

申请日：2003-09-18

Applicant: 大金工业株式会社

Inventor： 森田正道 ,  大塚英幸 ,  高原淳 ,  山本育男 ,  伊丹康雄 ,  青山博一

IPC: H01L51/00

CPC classification number: B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/0002 ,  H01L51/0012 ,  Y10T428/24917 ,  Y10T428/24926

Abstract: 通过本发明可以得到在交替线形图案表面上具有功能性化合物层的各向异性材料，交替线形图案表面中，一方的线含有含氟化合物，另一方的线含有非含氟化合物。使用具有特定结构的含氟化合物作为表面处理剂制造图案表面，以此图案表面用作模板，通过涂布功能性化合物溶液的工序，可以制造纳米～微米级的功能性化合物的结构体。以至少一个区域经含氟化合物表面处理的图案表面作为模板，能提高功能性化合物的特性。