光学干涉断层摄影装置、光学干涉断层摄影系统、光学干涉断层摄影方法以及检查方法

    公开(公告)号:CN118974539A

    公开(公告)日:2024-11-15

    申请号:CN202380031212.3

    申请日:2023-03-30

    Abstract: 本发明提供能够一次性大范围地进行断层摄影并且能够对位于远处的对象进行断层摄影的光学干涉断层摄影装置等。光学干涉断层摄影装置具备将来自光源的光聚光于试样的物镜,并且基于试样光与参照光的干涉进行所述试样的断层摄影,所述试样光是来自所述试样的反射光,所述参照光是来自设于所述物镜与所述试样之间的参照面的反射光,其中,所述试样光和所述参照光双方通过所述物镜,通过了所述物镜的来自光源的光以广角照射于所述试样,所述参照面由光散射体构成。

    光学相干断层摄影装置以及光学相干断层摄影法

    公开(公告)号:CN116324380A

    公开(公告)日:2023-06-23

    申请号:CN202180063235.3

    申请日:2021-09-21

    Abstract: 本发明提供一种光学相干断层摄影装置以及使用该光学相干断层摄影装置的光学相干断层摄影法。光学相干断层摄影装置即使在为便携式的情况下也难以产生断层图像的偏移,另外能够同时对宽范围进行断层摄影。光学相干断层摄影装置具备将来自光源的光聚光于试样的物镜,基于作为来自所述试样的反射光的试样光与作为来自设置于所述物镜与所述试样之间的参照面的反射光的参照光的干涉,进行所述试样的断层摄影,所述试样光以及参照光双方通过所述物镜,所述物镜是Fθ透镜。

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