氟化甲烷的制造方法
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN105408293B

    公开(公告)日:2017-11-10

    申请号:CN201480042424.2

    申请日:2014-08-07

    CPC classification number: C07C17/361 C07C17/07 C07C17/093 C07C19/08

    Abstract: 本发明的课题在于作为用作干式蚀刻气体等的氟化甲烷的制造方法,提供一种更适于工业生产的方法。作为其解决方法,提供一种氟化甲烷的制造方法,其特征在于,通过使(A)硫酸二甲酯与(B)作为氟化合物的选自氟化氢和氟酸盐中的至少一种或氟化物金属盐在液相中反应,制造氟化甲烷(CH3F),在上述氟化合物(B)含有氟化氢或氟酸盐时,以无溶剂或作为溶剂使用极性溶剂,使反应进行,并且在上述氟化合物(B)为氟化物金属盐时,作为溶剂使用水,使反应进行。

    氟化甲烷的制造方法
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN105408293A

    公开(公告)日:2016-03-16

    申请号:CN201480042424.2

    申请日:2014-08-07

    CPC classification number: C07C17/361 C07C17/07 C07C17/093 C07C19/08

    Abstract: 本发明的课题在于作为用作干式蚀刻气体等的氟化甲烷的制造方法,提供一种更适于工业生产的方法。作为其解决方法,提供一种氟化甲烷的制造方法,其特征在于,通过使(A)硫酸二甲酯与(B)作为氟化合物的选自氟化氢和氟酸盐中的至少一种或氟化物金属盐在液相中反应,制造氟化甲烷(CH3F),在上述氟化合物(B)含有氟化氢或氟酸盐时,以无溶剂或作为溶剂使用极性溶剂,使反应进行,并且在上述氟化合物(B)为氟化物金属盐时,作为溶剂使用水,使反应进行。

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