公开(公告)号：CN115900990A

公开(公告)日：2023-04-04

申请号：CN202310001377.8

申请日：2023-01-03

Applicant: 大连理工大学

Inventor： 丁洪斌 ,  刘晨 ,  李裕 ,  石劼霖 ,  门柏良 ,  冯春雷 ,  李聪

IPC: G01K7/02 ,  G21B1/25

Abstract: 本发明涉及等离子体物理技术领域，提供一种用于七通道级联弧等离子体源的温度监测系统，包括：供电系统、数据采集系统、温度采集模块和通信系统；所述供电系统，分别与数据采集系统、温度采集模块和通信系统电连接，用于为温度监测系统供电；所述数据采集系统分别与温度采集模块和通信系统信号连接，用于读取温度采集模块采集的温度数据，并与温度采集模块和通信系统进行通信；所述温度采集模块，用于通过六路热电偶传感器，采集七通道级联弧等离子体源环状阳极中六个钼芯放电通道的温度数据，并将温度数据传输至数据采集系统。本发明能够实时快速监测装置运行过程中六个放电通道温度变化，进而保障等离子体源运行的安全稳定。

公开(公告)号：CN115884486A

公开(公告)日：2023-03-31

申请号：CN202310001386.7

申请日：2023-01-03

Applicant: 大连理工大学

Inventor： 丁洪斌 ,  刘晨 ,  李裕 ,  石劼霖 ,  门柏良 ,  冯春雷 ,  李聪

IPC: H05H1/00 ,  H05H1/24

Abstract: 本发明涉及等离子体物理技术领域，提供一种七通道级联弧等离子体源的气流量测控系统，包括供电系统、数据采集输出系统、气流控制系统和通信系统；所述供电系统分别与数据采集输出系统、气流控制系统和通信系统连接；所述数据采集输出系统分别与气流控制系统和通信系统信号连接，用于与气流控制系统和通信系统进行通信；所述气流控制系统，用于将单一气路分流成七路气流，输出的七路气流分别被输送到七通道级联弧等离子体源阴极座的七个气路通道内；所述通信系统与计算机信号连接，用于与外接计算机进行信息交互。本发明能够将所分配的单一气路分流成七路，输出的七路气流可被单独、精准控制地输送到七通道级联弧等离子体源阴极座的气路通道内。