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发明公开
一种光纤法布里—珀罗真空计的制作方法无效

公开(公告)号：CN113049181A

公开(公告)日：2021-06-29

申请号：CN202110319129.9

申请日：2021-03-25

申请人： 大连理工大学

发明人： 周新磊 , 张小莉 , 陶鹏程 , 王硕 , 王嘉诺 , 邵慧琳 , 彭伟 , 于清旭

IPC分类号： G01L21/00

摘要： 本发明属于光纤传感技术领域，提供了一种光纤法布里—珀罗真空计的制作方法。光纤法布里‑珀罗真空计由入射光纤、反射光纤和带有微孔的毛细管组成。与传统真空计相比，光纤法布里—珀罗真空计具有体积小、结构简单、灵敏度高、抗电磁干扰及温度交叉影响小的优点，并可以实现对真空度的直接测量；通过CO2激光对光纤与毛细管进行焊接，提高了光纤法布里‑珀罗真空计的机械强度和长期稳定性，并降低了其温度交叉灵敏度；采用超快激光加工技术对石英毛细管进行打孔，保证了孔的均匀性和石英毛细管的机械强度。本发明为复杂环境下的真空度监测提供了一种极具竞争力的技术方案。