公开(公告)号：CN109490217B

公开(公告)日：2021-05-07

申请号：CN201910011769.6

申请日：2019-01-07

Applicant: 大连理工大学

Inventor： 宫振峰 ,  焦业翔 ,  于清旭

IPC: G01N21/17 ,  G01N21/01

Abstract: 本发明属于痕量气体检测技术领域，提供一种多腔叠加式非共振光声池及气体检测系统。多腔叠加式非共振光声池包括圆柱形金属壳体、多个非共振光声腔、光纤法布里‑珀罗声波传感器敏感膜片、光学玻璃窗片、进气口和出气孔。光纤法布里‑珀罗声波传感器的圆形敏感膜片固定在圆柱形金属壳体的一侧，圆柱形金属壳体的另一侧由光学玻璃窗片密封。待测气体从进气口进入，扩散进入多个非共振光声腔中，从另一侧的出气口排出。本发明通过减小非共振光声腔的半径和多个光声腔内光声信号的叠加，可大幅度提高系统光声信号的强度。膜片式光纤法布里‑珀罗声波传感器作为声波探测单元，与光声腔更容易匹配，为多组分高灵敏度痕量气体的检测提供了新的解决方案。

公开(公告)号：CN109490217A

公开(公告)日：2019-03-19

申请号：CN201910011769.6

申请日：2019-01-07

Applicant: 大连理工大学

Inventor： 宫振峰 ,  焦业翔 ,  于清旭

IPC: G01N21/17 ,  G01N21/01

Abstract: 本发明属于痕量气体检测技术领域，提供一种多腔叠加式非共振光声池及气体检测系统。多腔叠加式非共振光声池包括圆柱形金属壳体、多个非共振光声腔、光纤法布里-珀罗声波传感器敏感膜片、光学玻璃窗片、进气口和出气孔。光纤法布里-珀罗声波传感器的圆形敏感膜片固定在圆柱形金属壳体的一侧，圆柱形金属壳体的另一侧由光学玻璃窗片密封。待测气体从进气口进入，扩散进入多个非共振光声腔中，从另一侧的出气口排出。本发明通过减小非共振光声腔的半径和多个光声腔内光声信号的叠加，可大幅度提高系统光声信号的强度。膜片式光纤法布里-珀罗声波传感器作为声波探测单元，与光声腔更容易匹配，为多组分高灵敏度痕量气体的检测提供了新的解决方案。