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公开(公告)号：CN108682611A
公开(公告)日：2018-10-19
申请号：CN201810472714.0
申请日：2018-05-17
Applicant: 大连理工大学
IPC: H01J37/32
Abstract: 本发明公开了一种提高工艺等离子体均匀性的电极。该电极包括：信号发生器、功率放大器、第一电极和第二电极，所述第一电极和所述第二电极相对设置，所述信号发生器产生一路低频信号和一路高频信号，低频信号和高频信号，分别经过功率放大器，高频信号连接到第一电极而低频信号连接到第二电极，或者高频信号和低频信号均连接到第一电极。本发明提供的提高工艺等离子体均匀性的电极的高频源用于提高刻蚀速率，低频源用于抑制由甚高频放电引起的径向非均匀性，而且，具有结构简单、工艺要求低、实际可操作性强的特点。
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公开(公告)号：CN109621650B
公开(公告)日：2021-07-16
申请号：CN201910068642.8
申请日：2019-01-24
Applicant: 中国石油集团东北炼化工程有限公司 , 大连理工大学
Abstract: 本发明属于湿法脱硫尾气脱水技术领域，提供了一种用于烟气脱水的旋分吸水装置，在原烟气脱水装置的基础上，增设旋分吸水填料。所述的旋分吸水填料为变直径的空心圆台结构，其固定安装于烟气脱水装置内，位于旋分叶片上；从烟气入口端到烟气出口端，旋分吸水填料的直径逐渐变小；旋分吸水填料的截面与水平面所成的角度由烟气从旋分叶片出来的角度确定，即确定从旋分叶片出来的烟气垂直与旋分吸水填料接触。本发明在实际工作中能够有效提高介质吸水效率，能够上增加实际被除水烟气比例，并且在介质吸水后能避免气体的二次夹带现象。
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公开(公告)号：CN111179707A
公开(公告)日：2020-05-19
申请号：CN202010125133.7
申请日：2020-02-27
Applicant: 大连理工大学
IPC: G09B23/18
Abstract: 本发明公开一种教学用直流辉光放电探针诊断装置，包括放电管、平行玻璃管、探针、波纹管、放电阴极和放电阳极，放电管垂直放置，放电管的下法兰固定在实验台上，放电管内的上极板为放电阴极，接入直流高压的放电阴极利用垂直轴与放电管的上法兰连接并可相对于下极板上下移动，放电管内的下极板为放电阳极，接地的放电阳极绝缘固定在下法兰上；放电管的一侧密封连接有用于安放探针的平行玻璃管，平行玻璃管的另一端密封连接有波纹管，探针的另一端穿过波纹管；波纹管的压缩与伸长可带动探针在放电管内的一端伸长与缩短。该直流辉光放电探针诊断装置，探针可移动，可拆卸，更换方便，并且实验效果更好，实验所得数据更准确。
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公开(公告)号：CN109621650A
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：CN201910068642.8
申请日：2019-01-24
Applicant: 中国石油集团东北炼化工程有限公司 , 大连理工大学
CPC classification number: B01D53/263 , B01D45/14 , B01D2257/80 , B01D2258/0283
Abstract: 本发明属于湿法脱硫尾气脱水技术领域，提供了一种用于烟气脱水的旋分吸水装置，在原烟气脱水装置的基础上，增设旋分吸水填料。所述的旋分吸水填料为变直径的空心圆台结构，其固定安装于烟气脱水装置内，位于旋分叶片上；从烟气入口端到烟气出口端，旋分吸水填料的直径逐渐变小；旋分吸水填料的截面与水平面所成的角度由烟气从旋分叶片出来的角度确定，即确定从旋分叶片出来的烟气垂直与旋分吸水填料接触。本发明在实际工作中能够有效提高介质吸水效率，能够上增加实际被除水烟气比例，并且在介质吸水后能避免气体的二次夹带现象。
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公开(公告)号：CN111586956B
公开(公告)日：2021-05-04
申请号：CN201910121079.6
申请日：2019-02-19
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 本发明公开一种等离子体真空放电系统。该等离子体真空放电系统包括真空腔体、上电极和下电极，下电极位于真空腔体内；下电极为上方开口的中空圆柱体；上电极的下部容纳在下电极内，上电极的上部向上延伸至真空腔体外部；在上电极的下部周围沿周向环绕多个电极环；多个电极环沿径向从内向外依次设置；每个电极环均与相邻的电极环紧密贴合，最外侧的电极环与下电极的内壁贴合，最内侧的电极环与上电极的下部贴合；多个电极环中的一个电极环的材质为聚四氟乙烯，剩余电极环的材质为金属。采用本发明的等离子体真空放电系统，能够扩大自偏压的调节范围。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111586956A
公开(公告)日：2020-08-25
申请号：CN201910121079.6
申请日：2019-02-19
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 本发明公开一种等离子体真空放电系统。该等离子体真空放电系统包括真空腔体、上电极和下电极，下电极位于真空腔体内；下电极为上方开口的中空圆柱体；上电极的下部容纳在下电极内，上电极的上部向上延伸至真空腔体外部；在上电极的下部周围沿周向环绕多个电极环；多个电极环沿径向从内向外依次设置；每个电极环均与相邻的电极环紧密贴合，最外侧的电极环与下电极的内壁贴合，最内侧的电极环与上电极的下部贴合；多个电极环中的一个电极环的材质为聚四氟乙烯，剩余电极环的材质为金属。采用本发明的等离子体真空放电系统，能够扩大自偏压的调节范围。
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公开(公告)号：CN108682611B
公开(公告)日：2020-03-13
申请号：CN201810472714.0
申请日：2018-05-17
Applicant: 大连理工大学
IPC: H01J37/32
Abstract: 本发明公开了一种提高工艺等离子体均匀性的电极。该电极包括：信号发生器、功率放大器、第一电极和第二电极，所述第一电极和所述第二电极相对设置，所述信号发生器产生一路低频信号和一路高频信号，低频信号和高频信号，分别经过功率放大器，高频信号连接到第一电极而低频信号连接到第二电极，或者高频信号和低频信号均连接到第一电极。本发明提供的提高工艺等离子体均匀性的电极的高频源用于提高刻蚀速率，低频源用于抑制由甚高频放电引起的径向非均匀性，而且，具有结构简单、工艺要求低、实际可操作性强的特点。
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公开(公告)号：CN209525256U
公开(公告)日：2019-10-22
申请号：CN201920254534.5
申请日：2019-02-28
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 本实用新型公开了一种用于实验教学的尘埃晶格观察和分析装置，包括电源、放电室、真空装置、气路、激光装置和相机，放电室内设有上极板和下极板，上极板固定设置在放电室的上壁上，上极板连通有尘埃撒入管，尘埃撒入管与上极板连接处呈倒四棱锥型，上极板上开设有若干个喷洒通孔，下极板可移动连接在放电室的下壁上，下极板与电源电连接，放电室上通过抽气口连通有真空装置，放电室通过进气口连通有气路，放电室的四周设有观察窗，放电室的一侧设有激光装置，相机设置在放电室的另一侧，相机能够通过一观察窗拍摄尘埃颗粒的形态，使尘埃撒入均匀，提高尘埃晶格形成的成功率。
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公开(公告)号：CN211237475U
公开(公告)日：2020-08-11
申请号：CN202020219702.X
申请日：2020-02-27
Applicant: 大连理工大学
IPC: G09B23/18
Abstract: 本实用新型公开一种教学用直流辉光放电探针诊断装置，包括放电管、平行玻璃管、探针、波纹管、放电阴极和放电阳极，放电管垂直放置，放电管的下法兰固定在实验台上，放电管内的上极板为放电阴极，接入直流高压的放电阴极利用垂直轴与放电管的上法兰连接并可相对于下极板上下移动，放电管内的下极板为放电阳极，接地的放电阳极绝缘固定在下法兰上；放电管的一侧密封连接有用于安放探针的平行玻璃管，平行玻璃管的另一端密封连接有波纹管，探针的另一端穿过波纹管；波纹管的压缩与伸长可带动探针在放电管内的一端伸长与缩短。该直流辉光放电探针诊断装置，探针可移动，可拆卸，更换方便，并且实验效果更好，实验所得数据更准确。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN222106126U
公开(公告)日：2024-12-03
申请号：CN202422700923.X
申请日：2024-11-06
Applicant: 大连理工大学
IPC: G09B23/18
Abstract: 一种教学用多功能磁场位型直流辉光放电实验装置，其属于低气压气体放电等离子体实验研究的技术领域。基于直流辉光放电实验装置，配置相应的永磁体径向磁场机构和/或线圈轴向磁场机构，并与直流辉光放电等离子体实验仪器放电管实现嵌套或装配，以分别产生主要垂直于放电管轴线的径向磁场和平行于放电管轴线的轴向磁场，用于研究在两种磁场位型下直流辉光放电的击穿特性以及等离子体的放电行为，进而实现磁控低气压放电的实验研究。在研究气体放电的等离子体产生的过程中，可灵活的调节磁场位型、磁场大小控制等离子体，实现了不同磁场位形放电等离子体的产生和测量研究。这极大的丰富、拓展了实验内容，为创新型人才的培养提供了良好的教学资源。
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