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公开(公告)号：CN117387791A
公开(公告)日：2024-01-12
申请号：CN202311325168.5
申请日：2023-10-13
Applicant: 大连理工大学
IPC: G01K11/3206 , G01K1/08 , G01K1/14
Abstract: 本发明公开了一种基于光频域反射的等离子气体温度测量装置及方法，涉及射频等离子体实验诊断技术领域，该装置包括：真空腔室、光纤温度传感器、石英管、陶瓷板、OFDR系统和计算机；陶瓷板位于真空腔室的基片台上，光纤温度传感器位于陶瓷板上，且位于真空腔室的等离子体中，石英管的一端位于真空腔室中，光纤温度传感器穿过石英管与OFDR系统连接，OFDR系统还与计算机连接；计算机用于控制OFDR系统向光纤温度传感器入射扫频激光，并采集和解调携带了传感信息的瑞利散射光数据，确定真空腔室中等离子体中性气体温度分布。本发明能够诊断低气压射频感性耦合等离子体二维/三维温度空间分布，具有测量效率高、分辨率高和检测准确的特点。
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公开(公告)号：CN114838745B
公开(公告)日：2023-02-28
申请号：CN202210554559.3
申请日：2022-05-19
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 本发明提供一单数据通道多光路并行传感方法及系统，属于及光纤传感技术领域，单数据通道多光路并行传感方法包括：测量光纤传感网络中每根传感光纤在无外界环境参量变化条件下的参考瑞利散射信号；通过单个数据通道测量传感光纤网络在外界环境参量变化情况下的目标瑞利散射信号；分别对目标瑞利散射信号与各传感光纤的参考瑞利散射信号进行分布式互相关计算，确定各传感光纤在各空间位置处的频谱偏移量；根据各传感光纤在各空间位置处的频谱偏移量，确定对应空间位置处的环境参量的变化情况。利用普通单模光纤即可完成分布式传感任务，且无需多通道开关或多路数据通道，降低了并行光纤传感网络的复杂度和成本。
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公开(公告)号：CN114838745A
公开(公告)日：2022-08-02
申请号：CN202210554559.3
申请日：2022-05-19
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 本发明提供一单数据通道多光路并行传感方法及系统，属于及光纤传感技术领域，单数据通道多光路并行传感方法包括：测量光纤传感网络中每根传感光纤在无外界环境参量变化条件下的参考瑞利散射信号；通过单个数据通道测量传感光纤网络在外界环境参量变化情况下的目标瑞利散射信号；分别对目标瑞利散射信号与各传感光纤的参考瑞利散射信号进行分布式互相关计算，确定各传感光纤在各空间位置处的频谱偏移量；根据各传感光纤在各空间位置处的频谱偏移量，确定对应空间位置处的环境参量的变化情况。利用普通单模光纤即可完成分布式传感任务，且无需多通道开关或多路数据通道，降低了并行光纤传感网络的复杂度和成本。
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