公开(公告)号：CN108910818A

公开(公告)日：2018-11-30

申请号：CN201810635036.5

申请日：2018-06-12

Applicant: 大连理工大学

Inventor： 刘军山 ,  郭洪吉 ,  初永志 ,  徐征 ,  宋满仓 ,  刘冲

IPC: B81C1/00

Abstract: 本发明提供一种柔性聚合物表面上金属纳米裂纹的制造方法，属于微机电系统和微纳米加工技术领域。首先，利用磁控溅射等薄膜沉积方法在柔性聚合物表面沉积一层金属薄膜；其次，采用光刻工艺在金属薄膜表面进行光刻胶的图形化；然后对柔性聚合物进行弯曲使得金属薄膜产生纳米裂纹；最后，去除金属薄膜表面的光刻胶。本发明不仅可以精确控制柔性聚合物表面上金属纳米裂纹的图形，而且对于金属薄膜材料的种类、金属薄膜与柔性聚合物之间的界面结合力等没有限制。

公开(公告)号：CN108910818B

公开(公告)日：2022-01-04

申请号：CN201810635036.5

申请日：2018-06-12

Applicant: 大连理工大学

Inventor： 刘军山 ,  郭洪吉 ,  初永志 ,  徐征 ,  宋满仓 ,  刘冲

IPC: B81C1/00

Abstract: 本发明提供一种柔性聚合物表面上金属纳米裂纹的制造方法，属于微机电系统和微纳米加工技术领域。首先，利用磁控溅射等薄膜沉积方法在柔性聚合物表面沉积一层金属薄膜；其次，采用光刻工艺在金属薄膜表面进行光刻胶的图形化；然后对柔性聚合物进行弯曲使得金属薄膜产生纳米裂纹；最后，去除金属薄膜表面的光刻胶。本发明不仅可以精确控制柔性聚合物表面上金属纳米裂纹的图形，而且对于金属薄膜材料的种类、金属薄膜与柔性聚合物之间的界面结合力等没有限制。