一种基于纳米裂纹的水声传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN119177418A

    公开(公告)日:2024-12-24

    申请号:CN202411302773.5

    申请日:2024-09-19

    Abstract: 本发明提供一种基于纳米裂纹的水声传感器及其制备方法,属于水听器技术领域。该方法首先,采在柔性聚合物表面沉积一层金属薄膜,在柔性聚合物上金属薄膜表面旋涂一层光刻胶,将光刻胶和金属薄膜图案化;其次,对金属薄膜上的光刻胶再次进行图案化;再次,对柔性聚合物和金属薄膜进行弯曲使金属薄膜上产生纳米裂纹;最后,将柔性聚合物、聚甲基丙烯酸甲酯、玻璃片粘连,并在空腔内注入纯水后密封,得到水声传感器。本发明制造的基于纳米裂纹的水声传感器具有超高的灵敏度,通过将具有超高灵敏度和柔性的纳米裂纹传感单元粘连在具有空腔的基板上,可以实现对低频水声的超灵敏探测,提高了水声传感器的探测范围。

    基于仿生纤毛的水声传感器一体化集成制造模型及方法

    公开(公告)号:CN119238950A

    公开(公告)日:2025-01-03

    申请号:CN202411467297.2

    申请日:2024-10-21

    Abstract: 本发明提供一种基于仿生纤毛的水声传感器一体化集成制造模型及方法,属于水声传感器制造领域,包括用于实现打印的光固化打印设备和两种基于仿生纤毛的水声传感器一体化集成制造打印模型,分别应用在第一次打印中实现打印定位功能、在第二次打印中实现结构保护功能。并提供一种通过改良打印流程来保护脆弱结构的光固化打印方法。本发明能够通过光固化打印在水声传感器基座上直接形成仿生纤毛,有效避免传统胶水粘接方法在仿生纤毛底部留下胶水残余导致对水声传感器性能产生不利影响;有效避免了人工目测定位导致的定位不准问题;有效保护传感器基座表面脆弱的十字梁结构。

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