公开(公告)号：CN102066439B

公开(公告)日：2013-08-07

申请号：CN200980107359.6

申请日：2009-01-21

Applicant: 大赛璐化学工业株式会社

Inventor： 小山裕 ,  住田真理 ,  田中洋己

IPC: C08F20/28 ,  C07D307/33 ,  G03F7/039 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/0397 ,  C07D307/33 ,  C08F220/18 ,  C08F220/28

Abstract: 本发明的目的在于提供一种新型的含有内酯骨架的单体，所述含有内酯骨架的单体在应用于抗蚀剂用树脂等时，作为下述高功能性高分子等的单体成分等而有用，所述高功能性高分子等不仅可保持耐药品性等稳定性，而且在有机溶剂中具有优异的溶解性，其水解性和/或水解后相对于水的溶解性得以提高。为此，本发明提供一种含有内酯骨架的单体，该单体以下述式(1)表示(式中，Ra表示氢原子、卤原子、或任选具有取代基的碳原子数1～6的烷基，R1表示具有内酯骨架的基团，Y表示碳原子数1～6的2价有机基团)。

公开(公告)号：CN102066439A

公开(公告)日：2011-05-18

申请号：CN200980107359.6

申请日：2009-01-21

Applicant: 大赛璐化学工业株式会社

Inventor： 小山裕 ,  住田真理 ,  田中洋己

IPC: C08F20/28 ,  C07D307/33 ,  G03F7/039 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/0397 ,  C07D307/33 ,  C08F220/18 ,  C08F220/28

Abstract: 本发明的目的在于提供一种新型的含有内酯骨架的单体，所述含有内酯骨架的单体在应用于抗蚀剂用树脂等时，作为下述高功能性高分子等的单体成分等而有用，所述高功能性高分子等不仅可保持耐药品性等稳定性，而且在有机溶剂中具有优异的溶解性，其水解性和/或水解后相对于水的溶解性得以提高。为此，本发明提供一种含有内酯骨架的单体，该单体以下述式(1)表示(式中，Ra表示氢原子、卤原子、或任选具有取代基的碳原子数1～6的烷基，R1表示具有内酯骨架的基团，Y表示碳原子数1～6的2价有机基团)。