公开(公告)号：CN1667795A

公开(公告)日：2005-09-14

申请号：CN200510054725.X

申请日：2005-03-11

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 西村让一 ,  大谷正美

IPC: H01L21/00

CPC classification number: H01L21/67253 ,  H01L21/67276

Abstract: 本发明提供一种基板处理装置及基板处理方法，在动画显示部上，放映表示维护方法的动画。作业人员通过观看在操作面板动画显示部上显示的动画，能够掌握维护方法。由此，按照在动画显示部上显示的动画，在短时间内且正确地实施维护。

公开(公告)号：CN100394540C

公开(公告)日：2008-06-11

申请号：CN200510054725.X

申请日：2005-03-11

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 西村让一 ,  大谷正美

IPC: H01L21/00

CPC classification number: H01L21/67253 ,  H01L21/67276

Abstract: 本发明提供一种基板处理装置及基板处理方法，在动画显示部上，放映表示维护方法的动画。作业人员通过观看在操作面板动画显示部上显示的动画，能够掌握维护方法。由此，按照在动画显示部上显示的动画，在短时间内且正确地实施维护。