公开(公告)号：CN1755322A

公开(公告)日：2006-04-05

申请号：CN200510084409.7

申请日：2005-07-15

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 藤原成章

IPC: G01B11/30

CPC classification number: G06T7/0004 ,  G06T2207/30141

Abstract: 本发明涉及检测形成在印刷电路板上的有机膜的膜检测装置、检验系统以及检验印刷电路板的方法。功能单元包括由计算机执行的数据处理部件和检测部件。数据处理部件接受输入，该输入包括通过对合格目标印刷电路板和样本印刷电路板的实验获得的阈值信息，以及用于识别检验区域以产生特征数据和检验区域数据的信息。检测部件参考检验区域数据，从而在构成关于待检验的印刷电路板的被捕捉图像数据的像素中，选择对应于检验区域的像素。然后，检测部件根据所选像素的像素值计算测定值，以将计算所得的测定值与包括在特征数据之中的阈值做比较，由此根据比较结果检测有机膜。本发明减少了在检验印刷电路板的有机膜期间操作员的负担，可实现高精确度的检验。

公开(公告)号：CN100392349C

公开(公告)日：2008-06-04

申请号：CN200410100754.0

申请日：2004-12-13

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 藤原成章

IPC: G01B11/06

Abstract: 本发明提供一种即使是滤色片那样的选择性透过特定波长区域的光的透明薄膜也能正确测定其膜厚的膜厚测定方法和装置。首先，对每一种不同的膜厚取得多个作为在基板上形成了具有规定膜厚的无色透明薄膜的试样的分光反射率而计算出的理论分光反射率。接着，取得作为测定对象的滤色片的分光透射率，把该分光透射率中规定透射率以上的波长区域选定为测定波长区域。把对每一种不同膜厚而计算出的多个理论分光反射率通过分光透射率修正，求出修正后理论分光反射率。之后，向在基板上形成了测定对象的滤色片的试样照射光，把从该试样反射的光进行分光而实测分光反射率。比较得到的实测分光反射率和修正后理论分光反射率而计算出滤色片的膜厚。

公开(公告)号：CN1664493A

公开(公告)日：2005-09-07

申请号：CN200410100754.0

申请日：2004-12-13

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 藤原成章

IPC: G01B11/06

Abstract: 本发明提供一种即使是滤色片那样的选择性透过特定波长区域的光的透明薄膜也能正确测定其膜厚的膜厚测定方法和装置。首先，对每一种不同的膜厚取得多个作为在基板上形成了具有规定膜厚的无色透明薄膜的试样的分光反射率而计算出的理论分光反射率。接着，取得作为测定对象的滤色片的分光透射率，把该分光透射率中规定透射率以上的波长区域选定为测定波长区域。把对每一种不同膜厚而计算出的多个理论分光反射率通过分光透射率修正，求出修正后理论分光反射率。之后，向在基板上形成了测定对象的滤色片的试样照射光，把从该试样反射的光进行分光而实测分光反射率。比较得到的实测分光反射率和修正后理论分光反射率而计算出滤色片的膜厚。

公开(公告)号：CN100376867C

公开(公告)日：2008-03-26

申请号：CN200510084409.7

申请日：2005-07-15

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 藤原成章

IPC: G01B11/30

CPC classification number: G06T7/0004 ,  G06T2207/30141

Abstract: 本发明涉及检测形成在印刷电路板上的有机膜的膜检测装置、检验系统以及检验印刷电路板的方法。功能单元包括由计算机执行的数据处理部件和检测部件。数据处理部件接受输入，该输入包括通过对合格目标印刷电路板和样本印刷电路板的实验获得的阈值信息，以及用于识别检验区域以产生特征数据和检验区域数据的信息。检测部件参考检验区域数据，从而在构成关于待检验的印刷电路板的被捕捉图像数据的像素中，选择对应于检验区域的像素。然后，检测部件根据所选像素的像素值计算测定值，以将计算所得的测定值与包括在特征数据之中的阈值做比较，由此根据比较结果检测有机膜。本发明减少了在检验印刷电路板的有机膜期间操作员的负担，可实现高精确度的检验。