公开(公告)号：CN100535590C

公开(公告)日：2009-09-02

申请号：CN200610077244.5

申请日：2006-04-28

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 山下浩 ,  山下典良

IPC: G01B21/00

Abstract: 本发明的目的在于提供一种即使在基板大型化的情况下也能够正确地测定基板的基板测定装置。测长仪具有：基座(10)；载物台部(14)，其不会从该基座(10)受到应力，而以其表面相对与铅垂方向倾斜了微小角度的状态被基座(10)支撑；导辊(42)以及升降辊(43)，其用于支撑应进行测定的基板(100)的下端部；架台(15)，其通过由设置在载物台部的上部与下部的导轨(45)引导，能够沿着载物台部(14)的表面向左右方向移动；拍摄部(18)，其通过由设置在该架台(15)上的导轨(53)引导，能够沿着架台(15)向上下方向移动。

公开(公告)号：CN1873373A

公开(公告)日：2006-12-06

申请号：CN200610077244.5

申请日：2006-04-28

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 山下浩 ,  山下典良

IPC: G01B21/00

Abstract: 本发明的目的在于提供一种即使在基板大型化的情况下也能够正确地测定基板的基板测定装置。测长仪具有：基座(10)；载物台部(14)，其不会从该基座(10)受到应力，而以其表面相对与铅垂方向倾斜了微小角度的状态被基座(10)支撑；导辊(42)以及升降辊(43)，其用于支撑应进行测定的基板(100)的下端部；架台(15)，其通过由设置在载物台部的上部与下部的导轨(45)引导，能够沿着载物台部(14)的表面向左右方向移动；拍摄部(18)，其通过由设置在该架台(15)上的导轨(53)引导，能够沿着架台(15)向上下方向移动。