公开(公告)号：CN1834791A

公开(公告)日：2006-09-20

申请号：CN200510129603.2

申请日：2005-12-16

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 柿村崇 ,  北村嘉孝

IPC: G03F7/38 ,  G03F7/26 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027

Abstract: 本发明的目的在于提供一种能够防止光致抗蚀剂等薄膜的成分附着在排气泵中的减压干燥装置。该减压干燥装置具备覆盖基板(W)的周围的腔室(10)、排气泵(50)、第一开闭阀(41)、第二开闭阀(42)、第三开闭阀(43)。通过打开第一开闭阀(41)对腔室内(10)进行排气，对形成在基板(W)的主面上的光致抗蚀剂进行减压干燥后，关闭第一开闭阀(41)而停止前述腔室(10)的排气。接着，通过打开第二开闭阀(42)向排气泵(50)供给惰性气体的同时，打开第三开闭阀(43)而向前述腔室(10)内供给惰性气体。

公开(公告)号：CN100543589C

公开(公告)日：2009-09-23

申请号：CN200510129603.2

申请日：2005-12-16

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 柿村崇 ,  北村嘉孝

IPC: G03F7/38 ,  G03F7/26 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027

Abstract: 本发明的目的在于提供一种能够防止光致抗蚀剂等薄膜的成分附着在排气泵中的减压干燥装置。该减压干燥装置具备覆盖基板(W)的周围的腔室(10)、排气泵(50)、第一开闭阀(41)、第二开闭阀(42)、第三开闭阀(43)。通过打开第一开闭阀(41)对腔室内(10)进行排气，对形成在基板(W)的主面上的光致抗蚀剂进行减压干燥后，关闭第一开闭阀(41)而停止前述腔室(10)的排气。接着，通过打开第二开闭阀(42)向排气泵(50)供给惰性气体的同时，打开第三开闭阀(43)而向前述腔室(10)内供给惰性气体。