公开(公告)号：CN1933700A

公开(公告)日：2007-03-21

申请号：CN200610107631.9

申请日：2006-07-28

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 八坂智 ,  冈山敏之

IPC: H05K3/06 ,  H05K3/02

Abstract: 本发明涉及一种布线形成系统及其方法，光学外观检查装置(13)，对布线图案形成后的印刷基板全部区域，采用线宽测定算法测定布线图案的线宽。而且，光学外观检查装置(13)，以区域(22)为单位制成线宽直方图。然后，光学外观检查装置(13)，在同一区域(22)中将制成的线宽直方图与掩模图像数据的线宽直方图进行比较，制成线宽分布。信息管理系统(14)基于采用规定数的印刷基板而制成的线宽分布的平均来制成校正数据。曝光装置(12)基于上述校正数据，对设计数据或曝光用的图像数据上的布线图案的线宽，以区域(22)为单位进行变粗、变细的校正。

公开(公告)号：CN101334589B

公开(公告)日：2010-11-10

申请号：CN200810091798.X

申请日：2008-04-16

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 八坂智

IPC: G03F7/20

Abstract: 数据输入部(32)输入曝光图案数据和CAD数据。比较检查部(34)，通过比较曝光图案数据和CAD数据，进行曝光图案数据的检查。检查结果输出部(38)输出根据比较检查部(34)得出的检查结果。通过数据输入部(32)输入的CAD数据中，包含表示CAD数据所示出的图案各部分的属性的属性信息，比较检查部(34)，基于CAD数据所包含的属性信息，按照与该部分的属性对应的检查基准，检查曝光图案数据所示出的图案的各部分。由此，在通过直接描绘方式制造印刷电路板的情况下，可以在比以往更短的时间内正确检查直接描绘工序中所使用的曝光图案数据。

公开(公告)号：CN101334589A

公开(公告)日：2008-12-31

申请号：CN200810091798.X

申请日：2008-04-16

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 八坂智

IPC: G03F7/20

Abstract: 数据输入部(32)输入曝光图案数据和CAD数据。比较检查部(34)，通过比较曝光图案数据和CAD数据，进行曝光图案数据的检查。检查结果输出部(38)输出根据比较检查部(34)得出的检查结果。通过数据输入部(32)输入的CAD数据中，包含表示CAD数据所示出的图案各部分的属性的属性信息，比较检查部(34)，基于CAD数据所包含的属性信息，按照与该部分的属性对应的检查基准，检查曝光图案数据所示出的图案的各部分。由此，在通过直接描绘方式制造印刷电路板的情况下，可以在比以往更短的时间内正确检查直接描绘工序中所使用的曝光图案数据。