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公开(公告)号:CN1479173A
公开(公告)日:2004-03-03
申请号:CN03152470.2
申请日:2003-04-15
IPC: G03F7/039 , G03F7/11 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/0007 , G02F1/136227 , G03F7/0233 , G03F7/0757
Abstract: 本发明提供辐射敏感树脂组合物,用该组合物容易高精度形成防水性变化的有图案绝缘膜,使用此组合物形成有图案绝缘膜的方法,使用此组合物的显示单元和平板显示设备,和生产平板显示设备的方法。所述树脂组合物包括特定比例的(A)碱溶性共聚物,(B)1,2-醌二叠氮化物化合物和(C)防水硅氧烷树脂。在有图案绝缘膜的生产方法中,在由树脂组合物形成的涂层上进行形成图案曝光和显影。显示单元和平板显示设备装配有由树脂组合物形成的间层绝缘膜。平板显示设备的生产方法包括间层绝缘膜形成步骤,该步骤包括在曝光中曝光导体层形成区域的形成图案曝光处理,在导体层形成区域的一部分中仅固化表面层部分,和在其它部分中固化在它的厚度方向上的整体,和采用液体材料在间层绝缘膜表面上形成导体层的导体层形成步骤。
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公开(公告)号:CN1272669C
公开(公告)日:2006-08-30
申请号:CN03152470.2
申请日:2003-04-15
IPC: G03F7/039 , G03F7/11 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/0007 , G02F1/136227 , G03F7/0233 , G03F7/0757
Abstract: 本发明提供辐射敏感树脂组合物,用该组合物容易高精度形成防水性变化的有图案绝缘膜,使用此组合物形成有图案绝缘膜的方法,使用此组合物的显示单元和平板显示设备,和生产平板显示设备的方法。所述树脂组合物包括特定比例的(A)碱溶性共聚物,(B)1,2-醌二叠氮化物化合物和(C)防水硅氧烷树脂。在有图案绝缘膜的生产方法中,在由树脂组合物形成的涂层上进行形成图案曝光和显影。显示单元和平板显示设备装配有由树脂组合物形成的间层绝缘膜。平板显示设备的生产方法包括间层绝缘膜形成步骤,该步骤包括在曝光中曝光导体层形成区域的形成图案曝光处理,在导体层形成区域的一部分中仅固化表面层部分,和在其它部分中固化在它的厚度方向上的整体,和采用液体材料在间层绝缘膜表面上形成导体层的导体层形成步骤。
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公开(公告)号:CN1532566B
公开(公告)日:2010-05-12
申请号:CN200410008547.2
申请日:2004-03-08
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 一种用于滤色器的辐射敏感组合物,它包括(A)着色剂,(B)碱溶性树脂,(C)多官能单体和(D)光聚合引发剂,其中组分(B)是(1)N-(3,5-二甲基-4-羟基苯基)马来酰亚胺、N-对-羧苯基马来酰亚胺、N-对-羟基苯基(甲基)丙烯酰胺或对-羟基苯基(甲基)丙烯酸酯和其他不饱和单体的共聚物,或者(2)N-邻-羟基苯基马来酰亚胺、N-间-羟基苯基马来酰亚胺或者N-对-羟基苯基马来酰亚胺与其它特定的不饱和单体的共聚物。该用于滤色器的辐射敏感组合物具有优异的碱显影能力,在显影过程中几乎不在未曝光部分的基底和遮光层上产生残留物或者污点,并能大大缩短生产节拍时间。
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公开(公告)号:CN1246402C
公开(公告)日:2006-03-22
申请号:CN03131286.1
申请日:2003-05-14
Applicant: JSR株式会社
IPC: C09D163/00
Abstract: 一种树脂组合物,含有[A]含有环氧基的不饱和化合物与和其不同的烯烃系不饱和化合物的共聚物、[B]含有羟基的环氧树脂与烷氧基硅烷的反应物、及[C]和[A]成分及[B]成分不同的阳离子聚合性化合物。该树脂组合物能形成平坦性高、表面硬度高、耐热耐压性、耐酸性、耐碱性、耐溅射性等各种耐受性优异的光器件用保护膜。
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公开(公告)号:CN1532566A
公开(公告)日:2004-09-29
申请号:CN200410008547.2
申请日:2004-03-08
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 一种用于滤色器的辐射敏感组合物,它包括(A)着色剂,(B)碱溶性树脂,(C)多官能单体和(D)光聚合引发剂,其中组分(B)是(1)N-(3,5-二甲基-4-羟基苯基)马来酰亚胺、N-对-羧苯基马来酰亚胺、N-对-羟基苯基(甲基)丙烯酰胺或对-羟基苯基(甲基)丙烯酸酯和其它不饱和单体的共聚物,或者(2)N-邻-羟基苯基马来酰亚胺、N-间-羟基苯基马来酰亚胺或者N-对-羟基苯基马来酰亚胺与其它特定的不饱和单体的共聚物。该用于滤色器的辐射敏感组合物具有优异的碱显影能力,在显影过程中几乎不在未曝光部分的基底和遮光层上产生残留物或者污点,并能大大缩短生产节拍时间。
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公开(公告)号:CN1311037C
公开(公告)日:2007-04-18
申请号:CN200510071208.3
申请日:2003-05-14
Applicant: JSR株式会社
IPC: C09D163/10
Abstract: 一种树脂组合物,含有[A]含有环氧基的不饱和化合物与和其不同的烯烃系不饱和化合物的共聚物、[B]含有羟基的环氧树脂与烷氧基硅烷的反应物、及[C]和[A]成分及[B]成分不同的阳离子聚合性化合物。该树脂组合物能形成平坦性高、表面硬度高、耐热耐压性、耐酸性、耐碱性、耐溅射性等各种耐受性优异的光器件用保护膜。
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公开(公告)号:CN1673780A
公开(公告)日:2005-09-28
申请号:CN200510004668.4
申请日:2005-01-21
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 提供一种感放射线性树脂组合物及彩色滤光片缺陷的修复方法,其中,在向除去彩色滤光片缺陷部形成的孔中填充时,组合物进行有限制的充分地润湿展开,可以进行修复以使修复部和正常部的色度差小。该感放射线性树脂组合物含有(A)颜料、(B)碱可溶性树脂、(C)多官能性单体或者其和单官能性单体的组合、(D)光聚合引发剂及(E)溶剂。(C)多官能性单体的含量相对(B)碱可溶性树脂100重量份为350~1,000重量份,(E)溶剂在20℃的平均蒸汽压小于3.0mmHg,并且,固体成分浓度为25~50重量%。彩色滤光片缺陷的修复方法包含:在向除去彩色滤光片缺陷部形成的孔中填充前述组合物之后,进行除去溶剂的工序;使放射线照射填充部的工序;和加热照射后的填充部的工序。
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公开(公告)号:CN100350281C
公开(公告)日:2007-11-21
申请号:CN200310124878.8
申请日:2003-12-19
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 本发明提供在通过缝模涂布的涂布时不发生涂布不均,能够以高的制品成品率且高效率地形成均一膜厚的着色层的颜色滤光片用放射线敏感性组合物和颜色滤光片用着色层的形成方法。颜色滤光片用放射线敏感性组合物,其特征在于:含有(A)颜料、(B)碱可溶性树脂、(C)多官能性单体、(D)光自由基产生剂和(E)溶剂,其粘度为A(mPa·S)、其表面张力为B(mN/m)、而且涂布速度为V(m/s)时,(A×V÷B)的值不满4.0×10-2,其在通过缝模涂布的涂布中使用。颜色滤光片用着色层的形成方法,其特征在于,使用上述组合物,涂布速度在0.07m/s以上。
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公开(公告)号:CN1508574A
公开(公告)日:2004-06-30
申请号:CN200310124878.8
申请日:2003-12-19
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 本发明提供在通过缝模涂布的涂布时不发生涂布不均,能够以高的制品成品率且高效率地形成均一膜厚的着色层的颜色滤光片用放射线敏感性组合物和颜色滤光片用着色层的形成方法。颜色滤光片用放射线敏感性组合物,其特征在于:含有(A)颜料、(B)碱可溶性树脂、(C)多官能性单体,(D)光自由基产生剂和(E)溶剂,其粘度为A(mPa·S)、其表面张力为B(mN/m)、而且涂布速度为V(m/s)时,(A×V÷B)的值不满4.0×10-2,其在通过缝模涂布的涂布中使用。颜色滤光片用着色层的形成方法,其特征在于,使用上述组合物,涂布速度在0.07m/s以上。
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