公开(公告)号：CN100371795C

公开(公告)日：2008-02-27

申请号：CN200510051932.X

申请日：2005-02-18

Applicant: 夏普株式会社

Inventor： 石塚一洋 ,  藤川隆 ,  坂井健彦

IPC: G02F1/1335 ,  G02F1/1343 ,  C23F1/00

CPC classification number: G02F1/133555 ,  C23F1/02 ,  C23F1/16 ,  C23F1/20 ,  C23F1/26 ,  C23F1/44 ,  G02F1/133553 ,  G02F1/13439 ,  G02F1/136227 ,  Y10S438/978 ,  Y10T428/10 ,  Y10T428/1055 ,  Y10T428/1064

Abstract: 一种在基板上多个像素布置成矩阵状、具有每个像素设了反射电极的主动矩阵基板的液晶显示装置的制造方法，包括：依次在基板上形成金属导电膜和非晶质透明导电膜而形成叠层导电膜的叠层导电膜形成工序，和将该叠层导电膜图案化，形成反射电极的反射电极形成工序。该反射电极形成工序，包括：同时蚀刻金属导电膜和非晶质透明导电膜的第一蚀刻工序和仅蚀刻非晶质透明导电膜的第二蚀刻工序。提供一种在图案化依次叠层第一金属导电膜、蚀刻速度比该第一金属导电膜慢的第二金属导电膜的叠层导电膜而形成反射电极之际，能够抑制由于第二金属导电膜的端部剥落而造成产品合格率下降的液晶显示装置的制造方法。

公开(公告)号：CN1658032A

公开(公告)日：2005-08-24

申请号：CN200510051932.X

申请日：2005-02-18

Applicant: 夏普株式会社

Inventor： 石塚一洋 ,  藤川隆 ,  坂井健彦

IPC: G02F1/133 ,  C23F1/00

CPC classification number: G02F1/133555 ,  C23F1/02 ,  C23F1/16 ,  C23F1/20 ,  C23F1/26 ,  C23F1/44 ,  G02F1/133553 ,  G02F1/13439 ,  G02F1/136227 ,  Y10S438/978 ,  Y10T428/10 ,  Y10T428/1055 ,  Y10T428/1064

Abstract: 一种在基板上多个像素布置成矩阵状、具有每个像素设了反射电极6的主动矩阵基板的液晶显示装置的制造方法，包括：依次在基板上形成金属导电膜6a’和非晶质透明导电膜6b’而形成叠层导电膜的叠层导电膜形成工序，和将该叠层导电膜6’图案化，形成反射电极6的反射电极形成工序。该反射电极形成工序，包括：同时蚀刻金属导电膜6a’和非晶质透明导电膜6b’的第一蚀刻工序和仅蚀刻非晶质透明导电膜6b’的第二蚀刻工序。提供一种在图案化依次叠层第一金属导电膜、蚀刻速度比该第一金属导电膜慢的第二金属导电膜的叠层导电膜而形成反射电极之际，能够抑制由于第二金属导电膜的端部剥落而造成产品合格率下降的液晶显示装置的制造方法。