公开(公告)号：CN104412062A

公开(公告)日：2015-03-11

申请号：CN201380035853.2

申请日：2013-08-23

Applicant: 夏普株式会社

Inventor： 方志教和 ,  坂上英和 ,  原田德实 ,  山胁千明

IPC: G01B15/02

CPC classification number: G01B15/02 ,  G01N23/2055 ,  G01N23/223 ,  G01N2223/633

Abstract: 测定头(23)对产品基板(10)的膜(12)照射原始X射线，检测由该膜(12)产生的荧光X射线。解析单元(33)由利用测定头(23)检测出的荧光X射线的强度求出膜(12)的厚度。

公开(公告)号：CN104412061A

公开(公告)日：2015-03-11

申请号：CN201380035851.3

申请日：2013-08-23

Applicant: 夏普株式会社

Inventor： 方志教和 ,  坂上英和 ,  原田德实 ,  山胁千明

IPC: G01B15/02

CPC classification number: G01B15/02 ,  G01N23/223 ,  G01N2223/633

Abstract: 基板Al检测单元(33a)从测定头(23)对成膜前的基板(11)照射原始X射线，利用测定头(23)检测由该基板(11)产生的荧光X射线，检测该基板(11)所含的铝成分。Al膜校正单元(33b)在基板(11)上形成了Al膜时，基于基板Al检测单元(33a)的检测结果校正利用测定头(23)从Al膜检测出的荧光X射线的强度，求出Al膜的厚度。