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公开(公告)号：CN101460257A
公开(公告)日：2009-06-17
申请号：CN200780020779.1
申请日：2007-04-16
Applicant: 夏普株式会社
IPC: B05C5/00
CPC classification number: H01L21/6715 , B41J3/28
Abstract: 一种液滴涂布装置，包括：具有供基板(10)进行载放的载放面(11a)的基座(11)、以可相对于基座(11)沿箭头A方向移动的形态安装在基座(11)上的臂部(4)、以及以可沿箭头B方向移动的形态安装在上述臂部(4)上并朝载放在上述载放面(11a)上的上述基板(10)排出液滴的多个液滴排出部(6)。上述液滴排出部(6)安装在上述臂部(4)的第一横梁部(41)的安装面(41b)以及上述臂部(4)的第二横梁部(42)的安装面(42b)上。
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公开(公告)号：CN101484248B
公开(公告)日：2011-10-26
申请号：CN200780023473.1
申请日：2007-04-18
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: G02F1/1303 , B05D5/005 , B41J3/28 , B41J3/407 , B41J2202/09 , C09D11/30 , G02F1/1309 , G02F1/133516 , H01L51/0005
Abstract: 本发明提供一种可有效地修复缺陷的缺陷修复装置(1)，该缺陷修复装置(1)具备：固定所传送基板的基板载置台(3)；从垂直于由基板载置台(3)固定的基板的方向来看、沿与基板的传送方向不同的方向配置并对基板上散在的缺陷喷射液滴的多个液滴喷射单元(11)；安装多个液滴喷射单元(11)的喷头架单元(7)；以及使喷头架单元(7)沿着基板的传送方向相对等速移动的台架滑动机构(4)，各个液滴喷射单元(11)根据表示基板上散在的多个缺陷的位置的数据，在喷头架单元(7)沿基板的传送方向移动期间，沿与传送方向不同的方向相互独立移动。
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公开(公告)号：CN101351276A
公开(公告)日：2009-01-21
申请号：CN200580052474.X
申请日：2006-12-28
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: B41J3/28 , B41J2/155 , B41J2/16588 , B41J3/543 , B41J19/20 , B41J2202/20
Abstract: 本发明提供具备保持基板(50)并可沿基板运送方向即第2方向往复动作的运送台(11)和与第2方向正交的方向即第1方向大致平行的多根横梁(12)的液滴涂布装置(1)。在各横梁(12)上与基板(50)的表面相对地设有多个液滴吐出单元(2)，多个液滴吐出单元(2)分别可在可移动区域内沿第1方向在滑块机构(20)的作用下独立移动。
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公开(公告)号：CN101330958A
公开(公告)日：2008-12-24
申请号：CN200680047312.1
申请日：2006-12-14
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: B41J2/17563
Abstract: 一种过滤单元(3)包括壳体(161)、壳体(162)、过滤部件(164)以及填料(165A)。壳体(161)和(162)相互液密接合。过滤部件(164)和填料(165A)被设置成夹在壳体(161)和壳体(162)之间。壳体(161)在位于壳体(161)外侧形成有通过O形圈相接触的凸部(167)。壳体(162)形成有凹部(166)，用于在其内容纳凸部(167)。密封材料(168)设置在凸部(167)和凹部(166)之间。
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公开(公告)号：CN101351276B
公开(公告)日：2013-03-20
申请号：CN200580052474.X
申请日：2005-12-28
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: B41J3/28 , B41J2/155 , B41J2/16588 , B41J3/543 , B41J19/20 , B41J2202/20
Abstract: 本发明提供具备保持基板(50)并可沿基板运送方向即第2方向往复动作的运送台(11)和与第2方向正交的方向即第1方向大致平行的多根横梁(12)的液滴涂布装置(1)。在各横梁(12)上与基板(50)的表面相对地设有多个液滴吐出单元(2)，多个液滴吐出单元(2)分别可在可移动区域内沿第1方向在滑块机构(20)的作用下独立移动。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101460257B
公开(公告)日：2012-04-18
申请号：CN200780020779.1
申请日：2007-04-16
Applicant: 夏普株式会社
IPC: B05C5/00
CPC classification number: H01L21/6715 , B41J3/28
Abstract: 一种液滴涂布装置，包括：具有供基板(10)进行载放的载放面(11a)的基座(11)、以可相对于基座(11)沿箭头A方向移动的形态安装在基座(11)上的臂部(4)、以及以可沿箭头B方向移动的形态安装在上述臂部(4)上并朝载放在上述载放面(11a)上的上述基板(10)排出液滴的多个液滴排出部(6)。上述液滴排出部(6)安装在上述臂部(4)的第一横梁部(41)的安装面(41b)以及上述臂部(4)的第二横梁部(42)的安装面(42b)上。
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公开(公告)号：CN101558508B
公开(公告)日：2011-02-02
申请号：CN200780046352.9
申请日：2007-10-12
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: G02F1/1309 , G02F1/1303 , G02F1/133516
Abstract: 基板修复系统(1)能够缩短修复作业时间并防止进行不必要的修复处理，从而能够高效地进行修复处理。基板修复系统(1)具有：缺陷信息取得单元(2)，用以取得目标基板(9)的全部区域的缺陷信息；修复单元(3)，具有1个以上的液滴喷吐单元(6)，该液滴喷吐单元(6)根据缺陷信息取得单元(2)所取得的缺陷信息，对目标基板(9)的缺陷部滴注液滴；修复判断单元(4)，对于每一个目标基板(9)，根据缺陷信息取得单元(2)所取得的缺陷信息来判断是否需要由修复单元(3)进行修复动作。
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公开(公告)号：CN101326061A
公开(公告)日：2008-12-17
申请号：CN200680046427.9
申请日：2006-12-08
Applicant: 夏普株式会社
Abstract: 喷墨头(1)通过多个喷嘴(14)提供液体。喷墨头(1)包括液体引入端口(23A)、液体排出端口(23B)、公共的液体腔以及多个单独的液体腔。液体引入端口(23A)引入从外部提供的液体。液体排出端口(23B)将液体排出到外部。公共的液体腔被设置成与液体引入端口(23A)相通，还与液体排出端口(23B)相通。多个单独的液体腔与公共的液体腔相通，还与多个喷嘴开口(14)分别相通。
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公开(公告)号：CN101558508A
公开(公告)日：2009-10-14
申请号：CN200780046352.9
申请日：2007-10-12
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: G02F1/1309 , G02F1/1303 , G02F1/133516
Abstract: 基板修复系统(1)能够缩短修复作业时间并防止进行不必要的修复处理，从而能够高效地进行修复处理。基板修复系统(1)具有：缺陷信息取得单元(2)，用以取得目标基板(9)的全部区域的缺陷信息；修复单元(3)，具有1个以上的液滴喷吐单元(6)，该液滴喷吐单元(6)根据缺陷信息取得单元(2)所取得的缺陷信息，对目标基板(9)的缺陷部滴注液滴；修复判断单元(4)，对于每一个目标基板(9)，根据缺陷信息取得单元(2)所取得的缺陷信息来判断是否需要由修复单元(3)进行修复动作。
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公开(公告)号：CN101484248A
公开(公告)日：2009-07-15
申请号：CN200780023473.1
申请日：2007-04-18
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: G02F1/1303 , B05D5/005 , B41J3/28 , B41J3/407 , B41J2202/09 , C09D11/30 , G02F1/1309 , G02F1/133516 , H01L51/0005
Abstract: 本发明提供一种可有效地修复缺陷的缺陷修复装置(1)，该缺陷修复装置(1)具备：固定所传送基板的基板载置台(3)；从垂直于由基板载置台(3)固定的基板的方向来看、沿与基板的传送方向不同的方向配置并对基板上散在的缺陷喷射液滴的多个液滴喷射单元(11)；安装多个液滴喷射单元(11)的喷头架单元(7)；以及使喷头架单元(7)沿着基板的传送方向相对等速移动的台架滑动机构(4)，各个液滴喷射单元(11)根据表示基板上散在的多个缺陷的位置的数据，在喷头架单元(7)沿基板的传送方向移动期间，沿与传送方向不同的方向相互独立移动。
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