公开(公告)号：CN115763016A

公开(公告)日：2023-03-07

申请号：CN202211701586.5

申请日：2022-12-28

Applicant: 复旦大学 ,  湖北江城实验室

Inventor： 刘子玉 ,  张卫 ,  曾晓诗 ,  汪洋 ,  王浩 ,  陈琳 ,  孙清清

IPC: H01F27/34 ,  H01F27/245 ,  H01F27/30 ,  H01F1/10 ,  H01F1/34

Abstract: 本发明提供了一种三维电感器及电子装置，所述三维电感器包括：基板，所述基板具有相对的第一面及第二面；线圈，由若干第一导线和若干第二导线依次连接而成，所述第一导线贯穿所述基板，所述第二导线沿所述第一面及所述第二面延伸；磁芯，设于所述基板内且被所述线圈环绕或包围，包括若干由锆钛酸铅薄膜形成的第一通磁面，所述第一通磁面平行于所述第一导线且若干所述第一通磁面形成环形结构。本发明中，采用锆钛酸铅薄膜覆盖环形沟槽的内壁所形成的薄膜结构作为磁芯不仅在制作工艺上较为容易实现，还可同时提高三维电感器的电感值及品质因子。

公开(公告)号：CN116190356A

公开(公告)日：2023-05-30

申请号：CN202211701615.8

申请日：2022-12-28

Applicant: 复旦大学 ,  湖北江城实验室

Inventor： 刘子玉 ,  张卫 ,  曾晓诗 ,  汪洋 ,  王浩 ,  陈琳 ,  孙清清

IPC: H01L23/64 ,  H01F27/24 ,  H01F41/02

Abstract: 本发明提供了一种三维电感器的制备方法，包括：提供衬底，第一面上形成有环形沟槽；形成锆钛酸铅薄膜覆盖环形沟槽的内壁，以形成三维电感器的磁芯；形成若干通孔至少部分环绕环形沟槽，通孔的深度大于或等于环形沟槽的深度，并在通孔内形成第一导线；在第一面形成若干第二导线连接第一导线；从第二面减薄衬底至暴露第一导线，并形成第二导线连接第一导线，第一导线及第二导线环绕磁芯并作为三维电感器的线圈。本发明中，采用锆钛酸铅薄膜覆盖环形沟槽的内壁所形成的薄膜结构作为磁芯不仅在制作工艺上较为容易实现，还可同时提高三维电感器的电感值及品质因子。