公开(公告)号：CN113405270B

公开(公告)日：2022-08-19

申请号：CN202110535735.4

申请日：2021-05-17

Applicant: 复旦大学

Inventor： 吴施伟 ,  孙泽元 ,  陈旭涛 ,  殷立峰 ,  高春雷 ,  沈健

IPC: F25B9/00 ,  F25B49/00 ,  F16F15/02 ,  F16F15/023 ,  F16F15/03

Abstract: 本发明属于低温制冷设备技术领域，具体为一种带有主动式振动衰减结构的无液氦低温制冷系统。本发明制冷系统包括闭循环制冷机、主动式振动衰减系统、低温运行设备、低温屏蔽罩和真空腔体；主动式振动衰减系统包括固定支架、振动传感器、主动式振动衰减器和振动衰减系统控制器;主动式振动衰减器、振动传感器均与振动衰减系统控制器电连接；闭循环制冷机的制冷头伸入制冷隔振界面内，制冷头和制冷隔振界面间填充氦气，闭循环制冷机与制冷隔振界面的之间通过密封波纹管连接密封；低温运行设备放置在真空腔体内并与制冷隔振界面的低温端连接。本发明有效降低振动对低温设备运行的影响，大大提高低温设备的运行精度，且成本低，占地面积小。

公开(公告)号：CN113405270A

公开(公告)日：2021-09-17

申请号：CN202110535735.4

申请日：2021-05-17

Applicant: 复旦大学

Inventor： 吴施伟 ,  孙泽元 ,  陈旭涛 ,  殷立峰 ,  高春雷 ,  沈健

IPC: F25B9/00 ,  F25B49/00 ,  F16F15/02 ,  F16F15/023 ,  F16F15/03

Abstract: 本发明属于低温制冷设备技术领域，具体为一种带有主动式振动衰减结构的无液氦低温制冷系统。本发明制冷系统包括闭循环制冷机、主动式振动衰减系统、低温运行设备、低温屏蔽罩和真空腔体；主动式振动衰减系统包括固定支架、振动传感器、主动式振动衰减器和振动衰减系统控制器;主动式振动衰减器、振动传感器均与振动衰减系统控制器电连接；闭循环制冷机的制冷头伸入制冷隔振界面内，制冷头和制冷隔振界面间填充氦气，闭循环制冷机与制冷隔振界面的之间通过密封波纹管连接密封；低温运行设备放置在真空腔体内并与制冷隔振界面的低温端连接。本发明有效降低振动对低温设备运行的影响，大大提高低温设备的运行精度，且成本低，占地面积小。