一种基于带刺空心碳微球超灵敏度压力传感薄膜及其制备方法

    公开(公告)号:CN110511569B

    公开(公告)日:2021-06-04

    申请号:CN201910674945.4

    申请日:2019-07-25

    Applicant: 复旦大学

    Inventor: 武利民 石澜

    Abstract: 本发明涉及一种基于带刺空心碳微球超灵敏压力传感薄膜及其制备方法。本发明方法制备的带刺碳空心微球复合聚二甲基硅氧烷传感薄膜中,带刺碳空心微球均匀分散于基体中。带刺结构有助于微球间发生F‑N隧穿效应,提升材料灵敏度;通过前驱体转化法制备的碳材料,含有适量氮元素掺杂,有效的提高了微球的电子传输能力,空心结构既可以调控填料的密度,又有助于提高该材料的温度稳定性。将带刺空心有机纳米微球的制备;通过惰性气体保护下的煅烧工艺将带刺空心有机纳米微球转化为带刺空心碳微球,并调控其含氮量与石墨化程度;制备带刺空心碳纳米微球与聚二甲基硅氧烷的复合薄膜。本发明所得材料具备超高灵敏度、高阵列密度、透明、低延迟、无温度干扰,本发明方法制备简单、工艺成熟、对环境无污染。

    一种基于带刺空心碳微球超灵敏度压力传感薄膜及其制备方法

    公开(公告)号:CN110511569A

    公开(公告)日:2019-11-29

    申请号:CN201910674945.4

    申请日:2019-07-25

    Applicant: 复旦大学

    Inventor: 武利民 石澜

    Abstract: 本发明涉及一种基于带刺空心碳微球超灵敏度压力传感薄膜及其制备方法。本发明方法制备的带刺碳空心微球复合聚二甲基硅氧烷传感薄膜中,带刺碳空心微球均匀分散于基体中。带刺结构有助于微球间发生F-N隧穿效应,提升材料灵敏度;通过前驱体转化法制备的碳材料,含有适量氮元素掺杂,有效的提高了微球的电子传输能力,空心结构既可以调控填料的密度,又有助于提高该材料的温度稳定性。将带刺空心有机纳米微球的制备;通过惰性气体保护下的煅烧工艺将带刺空心有机纳米微球转化为带刺空心碳微球,并调控其含氮量与石墨化程度;制备带刺空心碳纳米微球与聚二甲基硅氧烷的复合薄膜。本发明所得材料具备超高灵敏度、高阵列密度、透明、低延迟、无温度干扰,本发明方法制备简单、工艺成熟、对环境无污染。

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