公开(公告)号：CN110207867A

公开(公告)日：2019-09-06

申请号：CN201910386519.0

申请日：2019-05-10

Applicant: 复旦大学

Inventor： 钟高余 ,  李书慧 ,  王虞焱 ,  沙加暐

IPC: G01L1/22 ,  A61B5/02

Abstract: 本发明属于传感器技术领域，具体为一种石墨烯压力传感器及其制备方法。本发明的石墨烯压力传感器由叉指电极层、镶嵌石墨烯弹性衬底层、柔性封装层组成；镶嵌石墨烯弹性衬底层包含石墨烯压力感应层、弹性粘附层、柔性薄膜层；石墨烯压力感应层镶嵌在弹性黏附层上，弹性粘附层直接贴附在柔性薄膜层，且石墨烯压力感应层与叉指电极层的叉指区轻微接触；所述封装层覆盖镶嵌石墨烯弹性衬底层及叉指电极叉指区。本发明的石墨烯压力传感器灵敏度高、结构简单，工艺简易，感应压力范围宽并且具有柔性，可用于可穿戴设备。

公开(公告)号：CN110207867B

公开(公告)日：2021-01-26

申请号：CN201910386519.0

申请日：2019-05-10

Applicant: 复旦大学

Inventor： 钟高余 ,  李书慧 ,  王虞焱 ,  沙加暐

IPC: G01L1/22 ,  A61B5/02

Abstract: 本发明属于传感器技术领域，具体为一种石墨烯压力传感器及其制备方法。本发明的石墨烯压力传感器由叉指电极层、镶嵌石墨烯弹性衬底层、柔性封装层组成；镶嵌石墨烯弹性衬底层包含石墨烯压力感应层、弹性粘附层、柔性薄膜层；石墨烯压力感应层镶嵌在弹性黏附层上，弹性粘附层直接贴附在柔性薄膜层，且石墨烯压力感应层与叉指电极层的叉指区轻微接触；所述封装层覆盖镶嵌石墨烯弹性衬底层及叉指电极叉指区。本发明的石墨烯压力传感器灵敏度高、结构简单，工艺简易，感应压力范围宽并且具有柔性，可用于可穿戴设备。