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公开(公告)号：CN101121500A
公开(公告)日：2008-02-13
申请号：CN200710045640.4
申请日：2007-09-06
Applicant: 复旦大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明属于微电极微加工技术领域，具体为一种三维神经微电极阵列的制作方法。本发明利用玻璃模具、PDMS的微复制特性和电镀技术制作三维微电极阵列，用精密切割机切割玻璃形成柱状阵列，用HF和NH4F的混合液腐蚀出相应的结构作为PDMS微复制的模具，免去了光刻工艺，消除了光刻胶对三维结构尺寸的限制，可以制作更大长度的微电极阵列，这一长度决定于玻璃的切割深度和金属的深孔电镀技术。本发明方法，工艺简单，可以大大降低成本。
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