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公开(公告)号：CN112880832A
公开(公告)日：2021-06-01
申请号：CN202110082568.2
申请日：2021-01-21
Applicant: 复旦大学
IPC: G01J4/04
Abstract: 本发明属于仪器定标技术领域，具体为一种椭偏仪中延迟器偏差角度及延迟相位量的定标方法。本发明先将入射到样品的探测光束的s偏振方向与p偏振方向作为系统的X/Y坐标轴，取下延迟器，利用布儒斯特角法将检偏器调整到坐标系的0°方向，再利用马吕斯定律定标起偏器定标、并调整到系统坐标系的45°方向；加入延迟器，取下样品，调节起偏器方位角，使用该系统进行测量。使用RCE型椭偏系统测量这组等效样品时，坐标偏差角出现在光强分量的比值关系中，可以求出坐标偏差角；最后将修正好延迟器坐标偏差的系统，从计算等效椭偏参数的结果中得到相位延迟器的实际延迟量β。本发明操作简单且精度高，能很好地改善椭偏仪的误差修正。
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