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公开(公告)号：CN116803214A
公开(公告)日：2023-09-22
申请号：CN202280013258.8
申请日：2022-02-03
Applicant: 塞勒姆电子与微波工业应用研究公司
IPC: H05H1/46
Abstract: 一种用于产生等离子体的装置，其被配置为从反应气体产生等离子体，其中，用于产生等离子体的装置包括微波发生器(10)，所述微波发生器在微波频率范围内的给定源频率下操作，和波导管(12)，所述波导管联接到微波发生器(10)并被配置为引导激励波。该装置还包括沿着延伸轴线(60)纵向延伸的介电管(14)，该介电管(14)被配置为接收等离子体，使得介电管(14)从波导管(12)的一侧穿过到另一侧；以及反应气体注入单元，其用于将反应气体供给到介电管(14)中。最后，用于产生等离子体的装置进一步包括等离子体点火单元。
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