公开(公告)号：CN112585302B

公开(公告)日：2025-03-18

申请号：CN201980052408.4

申请日：2019-08-08

Applicant: 地方独立行政法人山口县产业技术研究院 ,  三和产业株式会社 ,  东京毅力科创株式会社

Inventor： 村中武彦 ,  新见孝二 ,  上野雄大 ,  菊地晃 ,  齐藤秀翔 ,  长山将之

IPC: C25D11/26 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/683

Abstract: 本发明提供一种具有得到提高的耐电压性的阳极氧化钛材。阳极氧化钛材具备：钛母材以及设于钛母材的表面的阳极氧化钛层，阳极氧化钛层包含多孔质的第一阳极氧化钛层，所述阳极氧化钛材的25℃下的耐电压为500V以上，维氏硬度为200以上，膜厚为20μm以上且小于80μm，表面的算术平均粗糙度Ra小于1.6μm，表面的最大高度粗糙度Rz小于6.3μm，在第一阳极氧化钛层的与厚度方向垂直的剖面和表面中的任一者中，均未观察到具有能包含直径0.5μm以上的圆的形状的细孔剖面。

公开(公告)号：CN112585302A

公开(公告)日：2021-03-30

申请号：CN201980052408.4

申请日：2019-08-08

Applicant: 地方独立行政法人山口县产业技术研究院 ,  下关镀金株式会社 ,  东京毅力科创株式会社

Inventor： 村中武彦 ,  新见孝二 ,  上野雄大 ,  菊地晃 ,  齐藤秀翔 ,  长山将之

IPC: C25D11/26 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/683

Abstract: 本发明提供一种具有得到提高的耐电压性的阳极氧化钛材。阳极氧化钛材具备：钛母材以及设于钛母材的表面的阳极氧化钛层，阳极氧化钛层包含多孔质的第一阳极氧化钛层，所述阳极氧化钛材的25℃下的耐电压为500V以上，维氏硬度为200以上，膜厚为20μm以上且小于80μm，表面的算术平均粗糙度Ra小于1.6μm，表面的最大高度粗糙度Rz小于6.3μm，在第一阳极氧化钛层的与厚度方向垂直的剖面和表面中的任一者中，均未观察到具有能包含直径0.5μm以上的圆的形状的细孔剖面。

公开(公告)号：CN115513111A

公开(公告)日：2022-12-23

申请号：CN202210680655.2

申请日：2022-06-16

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 齐藤秀翔 ,  加藤诚人 ,  山口伸 ,  金泽和志 ,  武藤亮磨

IPC: H01L21/683 ,  H01J37/32

Abstract: 本发明提供一种基片支承部和基片处理装置，能够提高基片支承部的温度控制效率。基片支承部包括：静电吸盘，其由陶瓷形成，通过静电吸附来保持被处理基片；支承所述静电吸盘的基座；和供热交换介质流动的流路，其中，所述流路的上表面由陶瓷形成。

公开(公告)号：CN113594016A

公开(公告)日：2021-11-02

申请号：CN202110441064.5

申请日：2021-04-23

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 齐藤秀翔

IPC: H01J37/32

Abstract: 本发明提供一种基板处理装置、载置台以及温度控制方法，能够控制载置台的变形。基板处理装置具有用于载置基板的载置台，所述载置台具有：第一板；第一温度调节机构，其控制所述第一板的温度；第二板，其配置于所述第一板的下部；第二温度调节机构，其控制所述第二板的温度；以及紧固构件，其将所述第一板与所述第二板紧固在一起。