-
公开(公告)号：CN114270519A
公开(公告)日：2022-04-01
申请号：CN202080057836.9
申请日：2020-08-18
Applicant: 国际商业机器公司
IPC: H01L27/22
Abstract: 提供了一种用于包含磁性隧道结(MTJ)的器件的多层底部电极，该多层底部电极从下到上包括具有第一直径并且由第一底部含电极金属层的剩余部分构成的基段，具有第二直径并且由第二底部含电极金属层的剩余部分构成的中段，具有第三直径并且由第三底部含电极金属层的剩余部分构成的上段，其中，第一直径大于第二直径，第三直径等于或小于第二直径。每个多层底部电极的较宽基段防止所得底部电极的倾斜和/或弯曲。由此提供稳定的底部电极。
Search Results
1
records
(took 0.016 seconds)
筛选
AND
AND
过滤
NOT
NOT
Scan to Join
