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发明公开
光活性聚合物刷材料及使用其的EUV图案化有权转让

公开(公告)号：CN111788236A

公开(公告)日：2020-10-16

申请号：CN201980015573.2

申请日：2019-02-14

Applicant: 国际商业机器公司

Inventor： E.A.德希尔瓦 , R.沃杰特基 , D.戈尔德法布 , D.P.桑德斯 , N.费利克斯

IPC: C08F4/00 , C08G83/00 , G03F7/30

Abstract: 描述了光活性聚合物刷材料和使用该光活性聚合物刷材料的EUV光致抗蚀剂图案化方法。所述光活性聚合物刷材料包括可在衬底表面固定的接枝部分、干法可显影或可灰化部分、和光酸产生部分，它们结合到聚合物主链。在曝光于EUV辐射时，所述光酸产生部分在界面处产生酸，这克服了酸损耗问题从而减少光致抗蚀剂浮渣。所述光酸产生部分还可便于经由所述接枝部分的任选的酸可切断的接枝官能团将所述光活性聚合物刷材料从所述衬底切断。所述干法可显影或可灰化部分便于在化学增强EUV光致抗蚀剂的显影之后存在残余物的情况下将所述光活性聚合物刷材料从所述衬底完全去除。

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