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公开(公告)号:CN116745562A
公开(公告)日:2023-09-12
申请号:CN202180089695.3
申请日:2021-12-30
Applicant: 国际商业机器公司
IPC: F25B9/10
Abstract: 一种低温恒温器(100),包括:热屏蔽件(210),其在热级(141)与耦合到外部真空室(110)的底板(116)的基底结构(160)之间延伸,所述热级(141)耦合到所述外部真空室(110)的顶板(114),所述热屏蔽件(210)提供从所述外部真空室(110)外部的区域经由所述外部真空室(110)的所述顶板和所述底板(114,116)到在所述热屏蔽件(210)内所包围的样品安装表面(430)的通路。
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