公开(公告)号：CN107207813A

公开(公告)日：2017-09-26

申请号：CN201680009052.2

申请日：2016-02-08

Applicant: 国际商业机器公司

Inventor： 郑雅如 ,  A·琼德尔 ,  A·沃拉 ,  M·芝奥 ,  D·P·桑德斯

IPC: C08L25/08 ,  C08L69/00 ,  C08L27/00 ,  C08L53/00 ,  H01L21/00

CPC classification number: C08F120/28 ,  B82Y30/00 ,  C08F12/20 ,  C08F12/24 ,  C08F112/14 ,  C08F114/18 ,  C08F120/22 ,  C08F212/08 ,  C08F212/14 ,  C08F214/182 ,  C08F214/186 ,  C08F220/22 ,  C08F220/24 ,  C08F2220/301 ,  C08F2438/01 ,  C08G64/18 ,  C09D7/65 ,  C09D125/18 ,  C09D169/00 ,  H01L21/0271 ,  C08L101/04 ,  C08F2/38 ,  C08F2220/281 ,  C08F2220/325 ,  C08F2220/282

Abstract: 在对自组装嵌段共聚物的结构域中性润湿的基底表面上制备包含用于自组装的高chi(χ)嵌段共聚物和含六氟醇的表面活性聚合物(SAP)的膜层。该嵌段共聚物包含至少一个聚碳酸酯嵌段和至少一个其它嵌段(例如取代或未取代的苯乙烯基嵌段)。其顶表面与气氛接触的膜层自组装以形成相对于下方表面具有垂直取向的层状或圆柱形结构域图案。用不含SAP的薄膜获得其它状态(例如高度1.0Lo的岛和孔)。该SAP优先与包含聚碳酸酯嵌段的结构域溶混并降低其表面能。

公开(公告)号：CN107207813B

公开(公告)日：2019-05-03

申请号：CN201680009052.2

申请日：2016-02-08

Applicant: 国际商业机器公司

Inventor： 郑雅如 ,  A·琼德尔 ,  A·沃拉 ,  M·芝奥 ,  D·P·桑德斯

IPC: C08L25/08 ,  C08L69/00 ,  C08L27/00 ,  C08L53/00 ,  H01L21/00

Abstract: 在对自组装嵌段共聚物的结构域中性润湿的基底表面上制备包含用于自组装的高chi(χ)嵌段共聚物和含六氟醇的表面活性聚合物(SAP)的膜层。该嵌段共聚物包含至少一个聚碳酸酯嵌段和至少一个其它嵌段(例如取代或未取代的苯乙烯基嵌段)。其顶表面与气氛接触的膜层自组装以形成相对于下方表面具有垂直取向的层状或圆柱形结构域图案。用不含SAP的薄膜获得其它状态(例如高度1.0Lo的岛和孔)。该SAP优先与包含聚碳酸酯嵌段的结构域溶混并降低其表面能。