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公开(公告)号:CN101165936A
公开(公告)日:2008-04-23
申请号:CN200710180242.3
申请日:2007-10-16
Applicant: 国际商业机器公司
Inventor: 罗杰·W.·奇克 , 林仲汉 , 阿里加德勒·G.·西勒特 , 斯蒂芬·M.·洛斯纳格尔
CPC classification number: H01L45/06 , H01L21/76831 , H01L27/2436 , H01L45/1233 , H01L45/144 , H01L45/148 , H01L45/1683
Abstract: 一种存储单元及其制作方法。绝缘材料沉积在衬底上。通孔形成在衬底中,并且导电下部块设置在通孔内部。由绝缘材料构成的该阶梯式间隔件设置在导电下部块的通孔中。相变材料设置在该导电下部块上方并且限制于该阶梯式间隔件内部。由导电材料构成的导电上部块形成在该相变材料上。