真空中C4F7N/CO2/O2混合气体泄漏特性检测系统及方法

    公开(公告)号:CN118518278A

    公开(公告)日:2024-08-20

    申请号:CN202410636979.5

    申请日:2024-05-22

    Abstract: 本发明涉及一种真空中C4F7N/CO2/O2混合气体泄漏特性检测系统及方法。该系统利用抽真空装置获取初始真空环境和混合气体后,交替利用氦气提供装置以及抽真空装置以交替通入不同预设压力的氦气以及抽真空,形成新的真空环境,向新的真空环境通入混合气体,并利用氦离子化气相色谱仪检测与初始真空环境对应的第一O2泄漏浓度以及与新的真空环境对应的第二O2泄漏浓度,得到真空中O2的真实泄漏浓度、C4F7N的真实泄漏浓度以及CO2的真实泄漏浓度。与现有技术相比,本发明具有有效、准确地检测真空中C4F7N/CO2/O2三元混合气体的泄漏特性等优点。

    基于分流法的SF6气室气体回收装置

    公开(公告)号:CN113494946B

    公开(公告)日:2024-04-05

    申请号:CN202110747602.3

    申请日:2021-07-01

    Abstract: 基于分流法的SF6气室气体回收装置,属于SF6测量设备技术领域,解决采用单个大量程流量计而导致的装置体积大、重量重、携带不方便以及在气室气压下降、气体流量变小时大量程流量计测量误差大的问题;装置采用一大一小量程的第一流量计和第二流量计形成三条气路,第一气路、第二气路、第三气路;根据气室内气体的压力变化,切换不同的气路进行气体回收,使得对气室放出的气体各级流量均能进行精确测量;一大一小量程的第一流量计和第二流量计相对于直接在第一气路上安装流量计来说,流量计量程的需求成倍降低,大大节约了装置的成本,缩小整个装置的体积及重量,减小携带的负担,且由于小量程的流量计测试的精度更高,从而提高了装置的测试精度。

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