公开(公告)号：CN113358174B

公开(公告)日：2023-11-28

申请号：CN202110539277.1

申请日：2021-05-18

Applicant: 国核电站运行服务技术有限公司

Inventor： 高磊 ,  袁会勇 ,  孙文彬 ,  高钰文 ,  柏佳磊 ,  常楠 ,  黄海涛

IPC: G01F17/00

Abstract: 本发明涉及空间自由容积测量技术领域，尤其涉及一种空间自由容积测量方法，包括：步骤一、使待测空间的压力边界处于密封状态，测量待测空间内的示踪气体本底浓度C0；步骤二、按确定的示踪气体注入浓度Cin、注入流量qin和注入时间tin，向待测空间内注入示踪气体；步骤三、按确定的取样间隔时间ts持续进行多次取样，分析样品示踪气体浓度，在首次确认示踪气体在待测空间内的扩散满足混合均匀性条件后，按取样间隔时间ts持续进行至少十次取样；步骤四、根据所有样品的示踪气体浓度和取样时间建立示踪气体平均浓度增长曲线并获得待测空间内的示踪气体平均浓度 步骤五、计算待测空间的自由容积Vi： 具有准确度高、操作性强、适用性良好的优点。

公开(公告)号：CN113358174A

公开(公告)日：2021-09-07

申请号：CN202110539277.1

申请日：2021-05-18

Applicant: 国核电站运行服务技术有限公司

Inventor： 高磊 ,  袁会勇 ,  孙文彬 ,  高钰文 ,  柏佳磊 ,  常楠 ,  黄海涛

IPC: G01F17/00

Abstract: 本发明涉及空间自由容积测量技术领域，尤其涉及一种空间自由容积测量方法，包括：步骤一、使待测空间的压力边界处于密封状态，测量待测空间内的示踪气体本底浓度C0；步骤二、按确定的示踪气体注入浓度Cin、注入流量qin和注入时间tin，向待测空间内注入示踪气体；步骤三、按确定的取样间隔时间ts持续进行多次取样，分析样品示踪气体浓度，在首次确认示踪气体在待测空间内的扩散满足混合均匀性条件后，按取样间隔时间ts持续进行至少十次取样；步骤四、根据所有样品的示踪气体浓度和取样时间建立示踪气体平均浓度增长曲线并获得待测空间内的示踪气体平均浓度步骤五、计算待测空间的自由容积Vi：具有准确度高、操作性强、适用性良好的优点。

公开(公告)号：CN113375870A

公开(公告)日：2021-09-10

申请号：CN202110540367.2

申请日：2021-05-18

Applicant: 国核电站运行服务技术有限公司

Inventor： 高磊 ,  孙文彬 ,  刘祥祥 ,  袁会勇 ,  杨炯 ,  柏佳磊 ,  黄海涛 ,  马先宏

IPC: G01M3/04

Abstract: 本发明涉及半导体制程设备检漏技术领域，尤其涉及一种半导体制程设备的示踪气体检测方法，包括步骤一、确定通风气室内的模拟泄漏点，将示踪气体源接至模拟泄漏点；步骤二、测量并调节通风气室内的负压和排气流量，使其均满足设定条件；步骤三、测量并调节环境风速和示踪气体环境本底浓度，使其均满足设定条件；步骤四、开启示踪气体源，以设定注入流量向模拟泄漏点释放示踪气体；步骤五、在通风气室内的示踪气体达到平衡后，在设定取样点进行多次取样，然后在关闭示踪气体源后进行最后一次取样；步骤六、对取得的样品进行浓度分析，根据样品中的示踪气体浓度最大值判断通风气室的泄漏情况是否合格。具有明确的测试流程，可重复性和精确性高。