公开(公告)号：CN102942363A

公开(公告)日：2013-02-27

申请号：CN201210477442.6

申请日：2012-11-22

Applicant: 国家钽铌特种金属材料工程技术研究中心

Inventor： 郑金凤 ,  岳坤 ,  白晓东 ,  左婧懿 ,  王东新 ,  孙本双 ,  杨国綮 ,  赵世乾 ,  张丽 ,  李彬 ,  钟景明

IPC: C04B35/48 ,  C04B35/622

Abstract: 本发明涉及一种使用粉浆浇注制备AZO靶材的方法，该方法首先将AZO共沉淀粉体或者氧化锌和氧化铝的混合粉体与去离子水、分散剂、粘结剂进行球磨混合，注入模具内成型，干燥，脱脂，烧结后加工成所需尺寸的AZO靶材成品。本发明所制备的AZO靶材致密度高，组织均匀性好，易制备出大尺寸AZO靶材，且成型坯体均匀性好，后期烧结过程中坯体收缩均匀、不变形、不开裂。其工艺操作简单，易于控制，适合工业化生产。

公开(公告)号：CN102942363B

公开(公告)日：2015-06-17

申请号：CN201210477442.6

申请日：2012-11-22

Applicant: 国家钽铌特种金属材料工程技术研究中心

Inventor： 郑金凤 ,  岳坤 ,  白晓东 ,  左婧懿 ,  王东新 ,  孙本双 ,  杨国綮 ,  赵世乾 ,  张丽 ,  李彬 ,  钟景明

IPC: C04B35/48 ,  C04B35/622

Abstract: 本发明涉及一种使用粉浆浇注制备AZO靶材的方法，该方法首先将AZO共沉淀粉体或者氧化锌和氧化铝的混合粉体与去离子水、分散剂、粘结剂进行球磨混合，注入模具内成型，干燥，脱脂，烧结后加工成所需尺寸的AZO靶材成品。本发明所制备的AZO靶材致密度高，组织均匀性好，易制备出大尺寸AZO靶材，且成型坯体均匀性好，后期烧结过程中坯体收缩均匀、不变形、不开裂。其工艺操作简单，易于控制，适合工业化生产。