公开(公告)号：CN101838792A

公开(公告)日：2010-09-22

申请号：CN200910080128.2

申请日：2009-03-19

申请人： 国家纳米科学中心

发明人： 江潮 ,  王秋来 ,  刘双

IPC分类号： C23C14/34 ,  C23C14/54

摘要： 本发明提供一种用于柔性衬底大面积薄膜制备的真空热蒸镀设备，包括用于实现真空蒸镀的高真空室沉积单元、用于生成真空环境的真空获得与测量单元以及用于对真空蒸镀过程进行控制的机电控制单元；高真空室沉积单元包括真空室，在真空室内包括有样品台车；样品台车在与其在垂直方向连接的第一磁力转轴以及第一步进电机共同作用下在安装作真空室内的样品台车用导轨上做直线的往复运动；样品台车在与其水平方向所安装的套筒相连接的第二磁力转轴以及第二步进电机的共同作用下做绕轴自转并滑动；真空室的底部且位于样品台车下方的位置安装有用于安放、加热有机材料的有机材料升华束源炉。本发明能够获得大面积、均匀的有机薄膜；提高有机蒸镀材料的使用效率。

公开(公告)号：CN101838792B

公开(公告)日：2011-12-21

申请号：CN200910080128.2

申请日：2009-03-19

申请人： 国家纳米科学中心

发明人： 江潮 ,  王秋来 ,  刘双

IPC分类号： C23C14/34 ,  C23C14/54

摘要： 本发明提供一种用于柔性衬底大面积薄膜制备的真空热蒸镀设备，包括用于实现真空蒸镀的高真空室沉积单元、用于生成真空环境的真空获得与测量单元以及用于对真空蒸镀过程进行控制的机电控制单元；高真空室沉积单元包括真空室，在真空室内包括有样品台车；样品台车在与其在垂直方向连接的第一磁力转轴以及第一步进电机共同作用下在安装作真空室内的样品台车用导轨上做直线的往复运动；样品台车在与其水平方向所安装的套筒相连接的第二磁力转轴以及第二步进电机的共同作用下做绕轴自转并滑动；真空室的底部且位于样品台车下方的位置安装有用于安放、加热有机材料的有机材料升华束源炉。本发明能够获得大面积、均匀的有机薄膜；提高有机蒸镀材料的使用效率。

公开(公告)号：CN201372308Y

公开(公告)日：2009-12-30

申请号：CN200920106290.2

申请日：2009-03-19

申请人： 国家纳米科学中心

发明人： 江潮 ,  王秋来 ,  刘双

IPC分类号： C23C14/24 ,  C23C14/12 ,  C23C14/14

摘要： 本实用新型提供一种用于柔性衬底大面积薄膜制备的真空热蒸镀设备，包括用于实现真空蒸镀的高真空室沉积单元、用于生成真空环境的真空获得与测量单元以及用于对真空蒸镀过程进行控制的机电控制单元；高真空室沉积单元包括真空室，在真空室内包括有样品台车；样品台车在与其在垂直方向连接的第一磁力转轴以及第一步进电机共同作用下在安装作真空室内的样品台车用导轨上做直线的往复运动；样品台车在与其水平方向所安装的套筒相连接的第二磁力转轴以及第二步进电机的共同作用下做绕轴自转并滑动；真空室的底部且位于样品台车下方的位置安装有用于安放、加热有机材料的有机材料升华束源炉。本实用新型能够获得大面积、均匀的有机薄膜；提高有机蒸镀材料的使用效率。