公开(公告)号：CN104350582B

公开(公告)日：2017-03-08

申请号：CN201380030505.6

申请日：2013-04-04

申请人： 嘉柏微电子材料股份公司

发明人： A.普拉萨德

IPC分类号： H01L21/304 ,  B24B37/04

CPC分类号： B24B37/205 ,  B24B37/24

摘要： 本发明提供一种抛光垫，其含有至少一个透光区及任选的抛光垫体。该透光区由包括(a)聚合树脂及(b)至少一种吸光化合物的材料构成，且该透光区在250nm至395nm范围内的一个或多个波长下具有25％或更大的总透光率。

公开(公告)号：CN103222034B

公开(公告)日：2016-03-09

申请号：CN201180055788.0

申请日：2011-11-18

申请人： 嘉柏微电子材料股份公司

发明人： K.内维尔 ,  A.普拉萨德

IPC分类号： H01L21/304

CPC分类号： B24B37/205 ,  B24D11/001

摘要： 本发明提供了包含光学透射区域的抛光垫，其中所述抛光垫包含抛光垫主体，所述抛光垫主体包含不透明的第一区域和光学透射的第二区域，其中，所述第二区域具有在所述抛光垫主体的至少一部分中形成的至少一个凹坑，而且，将至少一个半透明窗嵌入物整合到所述至少一个凹坑区域中。所述抛光垫主体和所述至少一个半透明窗嵌入物包含不同的多孔材料。

公开(公告)号：CN104350582A

公开(公告)日：2015-02-11

申请号：CN201380030505.6

申请日：2013-04-04

申请人： 嘉柏微电子材料股份公司

发明人： A.普拉萨德

IPC分类号： H01L21/304 ,  B24B37/04

CPC分类号： B24B37/205 ,  B24B37/24

摘要： 本发明提供一种抛光垫，其含有至少一个透光区及任选的抛光垫体。该透光区由包括(a)聚合树脂及(b)至少一种吸光化合物的材料构成，且该透光区在250nm至395nm范围内的一个或多个波长下具有25％或更大的总透光率。

公开(公告)号：CN103222034A

公开(公告)日：2013-07-24

申请号：CN201180055788.0

申请日：2011-11-18

申请人： 嘉柏微电子材料股份公司

发明人： K.内维尔 ,  A.普拉萨德

IPC分类号： H01L21/304

CPC分类号： B24B37/205 ,  B24D11/001

摘要： 本发明提供了包含光学透射区域的抛光垫，其中所述抛光垫包含抛光垫主体，所述抛光垫主体包含不透明的第一区域和光学透射的第二区域，其中，所述第二区域具有在所述抛光垫主体的至少一部分中形成的至少一个凹坑，而且，将至少一个半透明窗嵌入物整合到所述至少一个凹坑区域中。所述抛光垫主体和所述至少一个半透明窗嵌入物包含不同的多孔材料。