公开(公告)号：CN1957197A

公开(公告)日：2007-05-02

申请号：CN200580016044.2

申请日：2005-05-12

Applicant: 喜开理株式会社

Inventor： 武市昭宏 ,  青山达人 ,  三轮敏一 ,  长屋小典

IPC: F16K27/00 ,  F17D1/04

CPC classification number: F16K27/003

Abstract: 为了提供增设线路时的气体单元的操作性良好的气体供给集成单元和气体单元增设方法，在将气体单元(1、2、A～E)安装到轨道(31、32)上的气体供给集成单元上，设置过程气体共同流路端部手动阀(28)和吹扫气体共同流路端部手动阀(29)，在形成于轨道(31、32)上的导向槽(31a、31b、32a、32b)上，可滑动地安装形成有2个螺栓孔(471、471)的T型螺母(45、46、47)，在增设的第六气体单元(F)上设置与过程气体共同流路端部手动阀(28)连通的另一过程气体共同流路端部手动阀(41)和与吹扫气体共同流路端部手动阀(29)连通的另一吹扫气体共同流路端部手动阀(42)，通过将贯通该第六气体单元(F)的螺栓(V)紧固到螺栓孔(471)中，通过T型螺母(47F)将第六气体单元(F)安装到轨道(31、32)上。

公开(公告)号：CN100408900C

公开(公告)日：2008-08-06

申请号：CN200580016044.2

申请日：2005-05-12

Applicant: 喜开理株式会社

Inventor： 武市昭宏 ,  青山达人 ,  三轮敏一 ,  长屋小典

IPC: F16K27/00 ,  F17D1/04

CPC classification number: F16K27/003

Abstract: 为了提供增设线路时的气体单元的操作性良好的气体供给集成单元和气体单元增设方法，在将气体单元(1、2、A～E)安装到轨道(31、32)上的气体供给集成单元上，设置过程气体共同流路端部手动阀(28)和吹扫气体共同流路端部手动阀(29)，在形成于轨道(31、32)上的导向槽(31a、31b、32a、32b)上，可滑动地安装形成有2个螺栓孔(471、471)的T型螺母(45、46、47)，在增设的第六气体单元(F)上设置与过程气体共同流路端部手动阀(28)连通的另一过程气体共同流路端部手动阀(41)和与吹扫气体共同流路端部手动阀(29)连通的另一吹扫气体共同流路端部手动阀(42)，通过将贯通该第六气体单元(F)的螺栓(V)紧固到螺栓孔(471)中，通过T型螺母(47F)将第六气体单元(F)安装到轨道(31、32)上。