超精密研磨用膜片
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1281376C

    公开(公告)日:2006-10-25

    申请号:CN200310107606.7

    申请日:2003-10-01

    Abstract: 超精密研磨用膜片,它涉及一种新型的研磨用具。它为薄片状结构,沿膜片的厚度方向依次为软基体的底膜层(1)和磨料层(2),在磨料层(2)内均匀地固着有磨料(3),底膜层(1)和磨料层(2)均由树脂材料制成,磨料层(2)中的磨料(3)为人造金刚石磨料、立方氮化硼磨料、氧化物磨料或碳化物磨料;磨料(3)的粒度号为18000~400。本发明研制出磨料在固着状态下磨削的工具,从而改变了传统的研磨工艺,使磨削工艺具有研磨效果好、效率高、可以加工复杂元件、能够实现加工过程自动化、不污染环境的优点。

    超精密研磨用膜片
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1528564A

    公开(公告)日:2004-09-15

    申请号:CN200310107606.7

    申请日:2003-10-01

    Abstract: 超精密研磨用膜片,它涉及一种新型的研磨用具。它为薄片状结构,沿膜片的厚度方向依次为软基体的底膜层(1)和磨料层(2),在磨料层(2)内均匀的固着有磨料(3),底膜层(1)和磨料层(2)均由树脂材料制成,磨料层(2)中的磨料(3)为人造金刚石磨料、立方氮化硼磨料、氧化物磨料或碳化物磨料。本发明研制出磨料在固着状态下磨削的工具,从而改变了传统的研磨工艺,使磨削工艺具有研磨效果好、效率高、可以加工复杂元件、能够实现加工过程自动化、不污染环境的优点。

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