基于光子晶体的RF-MEMS开关

    公开(公告)号:CN203398032U

    公开(公告)日:2014-01-15

    申请号:CN201320529312.2

    申请日:2013-08-28

    Inventor: 宋明歆 吴蕊

    Abstract: 基于光子晶体的RF-MEMS开关,涉及一种RF-MEMS开关,本实用新型为解决现有RF-MEMS工作频率范围固定,信号传输过程中回波损耗较大,对信号有较强干扰,降低开关工作效率的问题。本实用新型包括硅衬底、二氧化硅层、两个Al电极、介质层、金属电极和传输线;二氧化硅层完全覆盖在硅衬底的上表面上;二氧化硅层的上表面的两侧分别覆有一个Al电极;金属电极为n型,金属电极的两端安装在Al电极的上表面上;介质层覆在二氧化硅层的上表面的中间;二氧化硅层和介质层的中间覆有传输线;介质层为光子晶体结构,包括Si3N4介质层和SiO2介质层,两种介质层并行交替排列。本实用新型用于RF-MEMS开关。

    绝缘液体封装RF-MEMS开关
    4.
    实用新型

    公开(公告)号:CN202662480U

    公开(公告)日:2013-01-09

    申请号:CN201220297892.2

    申请日:2012-06-25

    Abstract: 绝缘液体封装RF-MEMS开关,它涉及一种由液体封装微机电的开关。本实用新型为了解决现有RF-MEMS开关驱动电压高、响应时间长、极板冲击速度大的技术问题。绝缘液体封装RF-MEMS开关包括封装结构、封装空腔、电介质层、上金属电极、下金属电极、信号线和衬底组成,其特征在于所述的封装空腔内填充甘油、蓖麻油和矿物绝缘油。本实用新型RF-MEMS开关驱动电压低、响应时间短、极板冲击速度小。

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