公开(公告)号：CN110108715B

公开(公告)日：2022-03-04

申请号：CN201910370090.6

申请日：2019-05-06

Applicant: 哈尔滨理工大学

Inventor： 王洋 ,  刘重阳

IPC: G01N21/88 ,  G01N21/958 ,  G06T7/00 ,  G06T7/13

Abstract: 本发明公开了一种非接触式的透明平行平板缺陷检测方法，包括光源装置、空间光调制器、待测样品、偏振CCD相机、计算机以及支持装置。检测步骤为：①在实施装置中无待测样品时，偏振CCD相机获取初始偏振图像；②在待测样品的位置处放置分辨率板，调焦至清晰位置；③将待测样品放置在空间光调制器和偏振CCD相机之间，采集待测样品的实时偏振图像；④根据初始偏振图像与实时偏振图像差分来确定待测样品的边缘；⑤利用改进圆心定位算法方法确定差分图像中的圆心位置；⑥基于偏振图像灰度的一阶差分来确定缺陷边缘点坐标；⑦求取偏振图像中缺陷区域的面积并设定面积阈值，判别该区域是否属缺陷区域。本发明提出了一种准确、高效的缺陷检测方法。

公开(公告)号：CN110108715A

公开(公告)日：2019-08-09

申请号：CN201910370090.6

申请日：2019-05-06

Applicant: 哈尔滨理工大学

Inventor： 王洋 ,  刘重阳

IPC: G01N21/88 ,  G01N21/958 ,  G06T7/00 ,  G06T7/13

Abstract: 本发明公开了一种非接触式的透明平行平板缺陷检测方法，包括光源装置、空间光调制器、待测样品、偏振CCD相机、计算机以及支持装置。检测步骤为：①在实施装置中无待测样品时，偏振CCD相机获取初始偏振图像；②在待测样品的位置处放置分辨率板，调焦至清晰位置；③将待测样品放置在空间光调制器和偏振CCD相机之间，采集待测样品的实时偏振图像；④根据初始偏振图像与实时偏振图像差分来确定待测样品的边缘；⑤利用改进圆心定位算法方法确定差分图像中的圆心位置；⑥基于偏振图像灰度的一阶差分来确定缺陷边缘点坐标；⑦求取偏振图像中缺陷区域的面积并设定面积阈值，判别该区域是否属缺陷区域。本发明提出了一种准确、高效的缺陷检测方法。